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上海市教委科研基金(06NZ001)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
檀亮
钟平
裘建新
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东华大学
上海工程技术大学
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发文基金:
上海市教委科研基金
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相关领域:
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裘建新
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檀亮
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上海工程技术...
年份
1篇
2007
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莫尔条纹三维精细测量方法的研究与应用
被引量:2
2007年
以微电子基板的三维形貌测量为背景,研究了莫尔条纹精细测量机械量的机理与方法。为微电子基板及其他信息产品(如电视机荫罩)提供非接触、快速和高精度的测量技术。
裘建新
檀亮
钟平
关键词:
莫尔条纹
三维形貌
图像处理
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