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国家自然科学基金(51205365)
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
相关作者:
刘燕娜
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严利平
章淼凌
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相关机构:
浙江理工大学
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年份
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2013
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激光合成波长干涉仪零相位检测实验研究
2013年
探讨激光合成波长干涉仪零相位检测方法,构建基于DSP芯片TMS320F28335的零相位检测实验装置,选用两个捕捉单元获取两单波长干涉信号的上升沿时刻差,用线性回归拟合方法算出零相位点位置。在恒温恒湿实验室中,分别以7 000、10 000和13 000个拟合点数进行实验,实验结果显示,参考镜过零点位置平均值分别为283 388.8、285 830.9、286 533.2μm,标准偏差分别为0.25、0.43、0.36μm。结果表明:选取7 000个拟合点数进行计算时,标准偏差最小,计算得到的过零点位置最准确。
张雪峰
严利平
刘燕娜
陈本永
关键词:
合成波长
激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法
被引量:1
2013年
介绍激光圆偏振干涉纳米位移测量系统的光路结构,针对A/D误差和直流噪声引入的位移误差,提出了基于正余弦信号切换的干涉条纹处理方法,以提高测量精度。设计基于FPGA和DSP架构的激光圆偏振干涉纳米位移测量系统,其中FPGA主要用于信号的采集、大数计数及与上位机通讯,DSP主要用于小数计算。位移实验结果表明:在0~7μm范围内,步长为100nm的测量结果其线性拟合相关系数为0.9836,标准差为1.88nm;在0~15μm范围内步长为1μm的测量结果其线性拟相关系数为0.9992,标准差为2.96nm。验证了所提出的干涉条纹处理方法和信号处理系统能够实现纳米级位移测量精度的要求。
章淼凌
严利平
楼盈天
刘燕娜
陈本永
关键词:
信号处理
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