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国家自然科学基金(20775068)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
何巧红
陈双
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相关机构:
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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陈双
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何巧红
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2008
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纳流控芯片的微加工技术及其应用
被引量:4
2008年
纳流控学和纳流控芯片应用于化学和生化分析的研究近年来取得了长足的进展。纳流控的基础和应用研究以纳流控芯片的研制为基础,而纳流控芯片的制备需依靠微纳加工技术。本文着重介绍目前已经建立的纳流控芯片加工技术,包括掩膜加工法、牺牲层技术、模具加工法、化学-机械抛光法、机械拉伸技术以及其他的加工技术。此外,还简单介绍了纳流控芯片在试样预处理以及生化分析中的应用。
何巧红
陈双
关键词:
微加工
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