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国家重点基础研究发展计划(B1999033102)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：赵湛夏善红秦宁陈绍凤更多>>
相关机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电磁驱动
  • 1篇SU-8
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇中国科学院电...

作者

  • 1篇陈绍凤
  • 1篇秦宁
  • 1篇夏善红
  • 1篇赵湛

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SU-8微针执行器的研究
2003年
设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器。执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等。通过外部磁场可以实现双向线性驱动。本文主要介绍了利用SU 8光刻胶材料 ,采用多级曝光实现 3D结构的工艺技术 ,研制出了微针执行器的雏形器件。微针的尺寸为 6 0 0 μm× 80 0 μm× 4 0 μm ,微针孔径截面为 2 0 μm× 2 0 μm 。
秦宁赵湛陈绍凤夏善红
关键词：电磁驱动MEMS
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