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双光束镀膜系统中的信号优化处理研究: 2007年; 为提高光电极值法膜厚监控质量,对微弱光电探测信号设计一套优化的电路处理和数字处理系统。基于双光束镀膜监控思想,提出三级模拟放大电路、双锁相对称放大电路、综合抗干扰技术、数字除法、防脉冲干扰数字滤波、数码显示线性化、剔除奇异数据和ΔR值极值判断等信号综合处理方案。实验表明:电路的测试路输出和参考路输出信噪比均大于500,漂移率≤7%/h;数码显示对反射率响应的灵敏度在整个反射率范围内均比较大,数码显示值的线性回归系数为0.979,低反射率膜的反射率显示分辨极限为0.02%;镀膜中极值点监控信号的不确定度至少比通用系统降低1个数量级,漂移率接近于0。采用此方案对微弱膜厚信号的高精度、高稳定性检测大大提高了膜厚监控系统的静态、动态稳定性和膜厚控制精度,膜厚控制的标准偏差为0.55%。; 许世军任小玲; 关键词：光学薄膜双光束

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兵器工业科研基金项目(ZZ9682-3)