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甘肃省科技攻关计划(4WS035-A72-134)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：陈强贺德衍栗军帅王晓强尹旻更多>>
相关机构：兰州大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金甘肃省科技攻关计划更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电感耦合
  • 1篇电子发射
  • 1篇室温制备
  • 1篇纳米
  • 1篇SI
  • 1篇场电子发射

机构

  • 1篇兰州大学

作者

  • 1篇尹旻
  • 1篇王晓强
  • 1篇栗军帅
  • 1篇贺德衍
  • 1篇陈强

传媒

  • 1篇科学通报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电感耦合等离子体CVD室温制备的纳米Si薄膜场电子发射研究
2006年
利用电感耦合等离子体化学气相沉积在室温下制备了Si薄膜，用拉曼谱对样品的结构进行了表征，502cm^-1附近散射峰的出现说明在样品中形成了纳米结晶相．用原子力显微镜观察样品表面形貌发现，在合适的等离子体条件下制备的样品，其表面由随机均匀排列的高密度Si锥组成，Si锥的高度为30～40nm，底面平均直径约为200nm．场电子发射测量结果显示样品具有良好的电子发射特性，开启电压为7～10V／μm．
贺德衍王晓强陈强栗军帅尹旻A.V.KarabutovA.G.Kazanskii
关键词：场电子发射
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共1页<1>
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