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哈尔滨工业大学科研创新基金(HITNSRIF200840)
作品数:
1
被引量:9
H指数:1
相关作者:
张飞虎
张勇
栾殿荣
宋孝宗
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相关机构:
哈尔滨工业大学
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发文基金:
中国博士后科学基金
哈尔滨工业大学科研创新基金
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相关领域:
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宋孝宗
1篇
栾殿荣
1篇
张勇
1篇
张飞虎
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中国机械工程
年份
1篇
2008
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超精密纳米胶体射流抛光试验研究
被引量:9
2008年
综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能和高吸附特性,提出了一种可实现工件表面原子级去除的纳米胶体射流抛光方法。利用碱性胶体中纳米颗粒与工件的表面反应,设计了可实现超精密表面加工的纳米胶体射流抛光系统,并利用该系统对K9玻璃进行抛光。试验结果表明,纳米胶体射流抛光可实现超精密光学表面的抛光,抛光后表面粗糙度Ra小于1nm。
宋孝宗
张勇
张飞虎
栾殿荣
关键词:
超精密加工
抛光
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