深圳市科技计划项目(JC200903120188A)
- 作品数：5 被引量：32H指数：4
- 相关作者：胡泓张振久张略刘欣曹勇更多>>
- 相关机构：哈尔滨工业大学九江学院深圳大学更多>>
- 发文基金：深圳市科技计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 基于激光跟踪仪的机床导轨系统误差检测被引量：8
- 2011年
- 针对机床导轨系统的误差补偿问题,提出一种基于激光跟踪仪的机床导轨误差检测方法。利用齐次坐标变换的方法建立导轨系统的误差模型,给出6项原始误差与空间误差的关系。在导轨系统的运动平台上选取不共线的3点,并利用激光跟踪仪检测出3点的空间坐标,然后逆用导轨系统误差模型,建立包含所有机床导轨系统原始误差的方程组,进而求得所有空间误差。实验中,分别利用误差检测方法和传统九线法检测导轨系统的偏摆误差,二者的检测结果一致性非常好,且最大差异只有0.74″,证明了该方法的有效性。相对于传统方法,基于激光跟踪仪的机床导轨误差检测方法操作简单、易于实现。
- 张振久胡泓刘欣
- 关键词：激光跟踪仪
- 六英寸晶圆片自动倒片系统的设计与实现
- 2010年
- 介绍了六英寸晶圆片倒片系统的设计、及其控制系统硬件构成和软件编程.运行结果表明,系统稳定性好,可靠性高,满足实际的工业生产要求.
- 张孟莎胡泓刘凯
- 关键词：PLC控制器
- 透镜检测中复合自动对焦技术的研究及应用被引量：7
- 2011年
- 针对光学透镜参数测量系统中的对焦问题,设计了一种粗精结合的复合自动对焦方案。在粗对焦过程中,选用全局图像的方差函数作为清晰度评价函数,用均值比较的爬山法实现焦面搜索,并用三点法判断初始对焦方向。在精对焦过程中,利用基于数学形态学的条件膨胀算法和形状因子提取目标图像,并以目标图像区域内的Brenner函数作为清晰度评价函数,用单点比较的爬山法实现焦面精细搜索。实验表明,该对焦方案不仅对焦精度高,还有较大的对焦范围,能够保证对焦位置包含在镜头景深范围内,且透镜参数的测量结果准确,稳定。
- 张振久胡泓李天利
- 关键词：光学器件自动对焦清晰度评价函数爬山法
- 喷射式微流体滴化机理的研究及应用被引量：8
- 2012年
- 喷射式流体滴化技术作为一种高效精确的微小体积流体分配方式,已应用于诸多科技领域.为实现一种高效稳定的晶片标示打点器,根据计算流体力学理论对流体喷射滴化的过程进行数学建模,通过有限体积法对喷嘴内径为0.1 mm时液滴的生成和分离过程进行了数值模拟计算和理论分析.开发设计了由音圈电机驱动的喷射机构进行滴化实验,探讨了将其应用于晶片打点标示的可行性.数值仿真和实验数据都表明,非接触式喷射技术的引入,有效地提高了打点效率,改善了所得墨点的一致性,并减少了拖尾和卫星滴现象.
- 张略胡泓曹勇
- 关键词：多相流
- 基于激光跟踪仪的转台系统几何误差检测被引量：9
- 2012年
- 转台系统是多轴机床的基本组件,因此转台系统的几何误差检测对于多轴机床的误差补偿有重要意义。提出了一种基于激光跟踪仪的转台系统几何误差检测方法,利用齐次坐标变换建立转台系统的误差模型,并给出几何误差与空间误差之间的关系。利用激光跟踪仪检测转台上不共线的三个点的空间坐标并得到各点的空间误差,再逆用误差模型,建立了包含六项几何误差的方程组。求解方程组,获得了转台系统的六项几何误差的解析表达式。将检测方法应用于某转台系统的几何误差检测,并通过对比实验证明了该方法的有效性。
- 张振久胡泓
- 关键词：转台系统激光跟踪仪
