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国家自然科学基金(60571015F010501)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
王健
李德杰
朱丹
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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清华大学
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1篇
朱丹
1篇
李德杰
1篇
王健
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真空电子技术
年份
1篇
2009
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基于InO_x纳米岛/C的栅控薄膜电子发射阴极
被引量:1
2009年
介绍了基于InOx纳米岛/C的栅控薄膜电子发射阴极,并对其制备工艺和发射性能进行讨论。引入射频溅射的ZnO作为通道层,并在其上沉积InOx纳米岛以及无定型碳薄膜层。InOx纳米岛状结构引入了InOx/C复合活性层的不均匀性;在栅极以及源漏极电压的作用下,当有足够的传导电流通过InOx/C复合层时,通过电流热效应作用,复合层的某些导电通道被烧断,形成电子发射区域。本结构可以通过栅极电压来控制传导电流的有无,从而控制阴极电子发射的有无。
朱丹
李德杰
王健
关键词:
栅控
电子发射
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