国家自然科学基金(10275088)
- 作品数：4 被引量：38H指数：2
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- 相关机构：中国科学院长春理工大学更多>>
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- 相关领域：理学金属学及工艺更多>>
- 脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究被引量：34
- 2004年
- 利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在 4 5号钢基材上制备出了超硬耐磨TiN薄膜 .利用XRD ,XPS ,AES ,SEM等手段分析了薄膜的成分及显微组织结构 ,并测试了薄膜的硬度分布及摩擦磨损性能 .结果表明 :薄膜主要组成相为TiN ,薄膜组织致密、均匀 ,与基材之间存在较宽的混合界面 ;薄膜硬度高 。
- 刘元富张谷令王久丽刘赤子杨思泽
- 关键词：薄膜生长耐磨性显微组织
- FTIR监测金刚石薄膜生长的研究被引量：1
- 2008年
- 用电子回旋共振等离子体(ECR)系统,在气压、衬底温度以及微波功率等外界条件不变的情况下,仅改变甲烷浓度制备金刚石薄膜,利用傅里叶红外吸收光谱仪(FTIR)对甲烷浓度为6%的ECR系统进行实时监测,分析研究了不同沉积时间条件下,甲烷和氢气产生的等离子体对薄膜早期成核、生长过程以及衬底的影响,并结合Raman光谱X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对金刚石薄膜进行了分析。
- 张先徽冯克成孙岳王兴权孙秀平杨思泽
- 关键词：金刚石薄膜X射线衍射仪
- 管型材料离子注入内表面改性研究进展被引量：3
- 2003年
- 利用在管材中心引入同轴接地电极并在金属管材上加脉冲负偏压以产生径向离子加速电场,实现了金属管材内表面离子注入。目前国内外还有其它一些技术手段实现材料内表面改性,如脉冲放电爆炸金属箔注入、离子束溅射沉积、等离子体化学气相沉积法等。这些实验方法所遇到的主要问题是离子注入沿轴向不均勺、膜与基底结合不牢。在原实验方法基础上,又提出了一种新的方法——栅极增强等离子体源离子注入法。实验结果表明:此方法不但可以大大提高离子注入沿轴向的均匀性。
- 杨思泽张谷令王久丽刘斌范松华杨武保刘元富
- 关键词：改性
