国家自然科学基金(50371040)
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- 应变率对Ag/Co多层膜硬度的影响及塑性变形不稳定性研究
- 周期结构对多层膜硬度和弹性模量的影响已有比较深入的研究,而对多层膜塑性变形特征和机理的研究还少有报道。本文采用直流磁控溅射制备了周期Λ为10nm,20nm,40nm,60nm 的 Ag/Co 多层膜,X 射线衍射表明薄膜...
- 文胜平宗瑞磊曾飞潘峰
- 关键词：多层膜应变速率塑性变形纳米压入
- 文献传递
- Fe/Mo多层膜的微观结构与应力研究
- 本文采用电子束蒸镀技术制备了Fe/Mo金属多层膜,利用TEM等手段研究了Fe与Mo层厚度对薄膜微结构应力的影响。Fe与Mo层厚度相差较大而Fe单层膜厚薄到1.2 nm时,较薄的Fe在较厚的Mo层上外延生长。随着Mo厚度的...
- 李丹贺汀潘峰
- 关键词：FE/MO多层膜微结构应力
- 文献传递
- Fe/Mo多层膜的微观结构与应力研究
- 2004年
- 本文采用电子束蒸镀技术制备了Fe/Mo金属多层膜,利用TEM等手段研究了Fe与Mo层厚度对薄膜微结构应力的影响.Fe与Mo层厚度相差较大而Fe单层膜厚薄到1.2 nm时,较薄的Fe在较厚的Mo层上外延生长.随着Mo厚度的变薄,Mo/Fe厚度比减少,Mo层没有足够的自由能约束Fe原子,Fe层形成稳定的bcc结构.当Fe外延生长在Mo层上时,晶格畸变导致铁钼层间产生很大的应力,使得薄膜出现均匀的细微裂纹.用胡克定律估算了其应力范围,约104MPa数量级.
- 李丹贺汀潘峰
- 关键词：FE/MO多层膜微结构应力
- 应变率对Ag/Co多层膜硬度的影响及塑性变形不稳定性研究
- 2007年
- 周期结构对多层膜硬度和弹性模量的影响已有比较深入的研究,而对多层膜塑性变形特征和机理的研究还少有报道.本文采用直流磁控溅射制备了周期Λ为10 nm,20 nm,40 nm,60 nm的Ag/Co多层膜,X射线衍射表明薄膜均为Ag(111)和Co(002)织构的多晶结构,且具有很好的周期性.采用纳米压入连续刚度法在四种加载应变速率(0.025 s-1,0.05 s-1,0.1 s-1,0.5 s-1)下分别测试了不同周期薄膜的硬度,结果表明硬度随应变速率的变大而增大,且随周期的变大硬度变化随应变速率的变化更加敏感.纳米压入的载荷-位移曲线出现明显的不连续突变,压痕形貌周围有明显的剪切带,表明塑性变形的过程是不稳定的.
- 文胜平宗瑞磊曾飞潘峰
- 关键词：多层膜应变速率塑性变形纳米压入
- 离子束入射角度对Co50Nb50薄膜微结构的影响
- 利用离子束辅助沉积技术,通过改变离子束入射方向与薄膜表面法线的夹角,制备了一系列厚度为50 nm 的 CoNb薄膜,并研究了离子束入射方向对薄膜表面结构的影响。实验中,离子束入射角分别为 0°,30°,45°,75°和8...
- 吕方曾飞谷宇潘峰
- 关键词：离子束辅助沉积微结构
- 文献传递
- 离子束入射角度对Co50Nb50薄膜微结构的影响
- 2007年
- 利用离子束辅助沉积技术,通过改变离子束入射方向与薄膜表面法线的夹角,制备了一系列厚度为50 nm的Co50Nb50薄膜,并研究了离子束入射方向对薄膜表面结构的影响.实验中,离子束入射角分别为0°,30°,45°,75°和85°(掠射).研究结果表明,所得到的薄膜均为非晶结构.离子束垂直入射(0°入射)时,薄膜表面产生渗流花样;入射角为30°时,渗流现象更加明显,薄膜表面粗糙度增大;随入射角增至45°,表面渗流现象减弱,薄膜变得平整;当入射角进一步增加到为75°,薄膜表面出现平行于入射方向的纳米条纹;离子束掠入射(85°入射)时,薄膜表面条纹的平均宽度减小,均匀性提高.研究表明上述表面结构的变化是原子沉积、离子束溅射和沉积原子热扩散共同作用的结果.
- 吕方曾飞谷宇潘峰
- 关键词：离子束辅助沉积微结构
