国家自然科学基金(5075086)
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
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- 激光直写技术制备SiO_2-TiO_2条形光波导工艺研究被引量：4
- 2008年
- 为了研究激光直写技术在光波导制备中的应用,采用波长为1.07μm的连续光纤激光器制备了硅基SiO2-TiO2条形光波导。探讨了激光直写技术制备条形光波导的原理,研究了激光参数对条形光波导宽度的影响,最后测试了光波导的通光模场以及光传输损耗。结果表明,条形光波导的宽度随着激光功率密度的增加而增大。当激光扫描速率在0.1mm/s^1mm/s范围内变化时,条形光波导的宽度随着激光扫描速率的增加而降低;高于1mm/s时对波导宽度无明显影响。在优化的工艺参数下,激光直写得到的条形波导的厚度约为0.4μm,宽度为120μm,整条波导非常均匀、准直性很好,对于1550nm波长的光呈多模传输,最小传输损耗为1.7dB/cm。
- 李爱魁王泽敏刘家骏曾晓雁
- 关键词：激光技术条形光波导激光直写SIO2-TIO2传输损耗
