江苏省科技计划项目(BG2007004)
- 作品数：2 被引量：6H指数：2
- 相关作者：田宗军刘志东黄因慧汪炜邱明波更多>>
- 相关机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：江苏省科技计划项目国家自然科学基金江苏省科技支撑计划项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺航空宇航科学技术一般工业技术电子电信更多>>
- P型太阳能级硅电火花线切割机理及工艺研究被引量：3
- 2010年
- 根据半导体的特殊电性能建立了抽象的放电加工模型,该模型分别用二极管、可变电阻、稳压管、电阻等器件模型近似代表半导体与金属进电端的接触势垒、半导体的体电阻、极间放电的维持电压以及工作液电阻;根据所建立的模型分析发现,半导体电火花线切割具有单向导通性、击穿电压高等特点,并且加工过程中进电端会出现钝化现象。为此,研制了针对P型太阳能级硅切割的专用夹具,并对电阻率为2.1Ω.cm的P型太阳能级硅锭进行了电火花线切割,切割效率大于100 mm2/min。
- 刘志东邱明波汪炜田宗军黄因慧
- 关键词：硅太阳能电火花线切割
- 大尺寸及异型锗窗高效电火花线切割技术被引量：3
- 2010年
- 研究了N型锗半导体电火花加工时所体现的单向导通性及特殊电特性,建立了电火花加工模型,分别用二极管、可变电阻、稳压管、电阻等器件表征了锗半导体与进电端材料的接触势垒、极间体电阻、介质放电维持电压及工作液电阻。设计了锗半导体电火花线切割专用夹具,采用锗半导体表面涂覆碳浆并用石墨块进电的方式以降低接触势垒、接触电阻,对进电接触点采用吹气方式减少电化学反应导致的不导电钝化膜的产生,保障加工的延续。最后对电阻率为22.3Ω.cm,高度为170 mm的N型锗进行了电火花线切割,切割效率大于100 mm2/min,并采用数控的方法切割出异型锗窗。检测了放电波形,分析了锗半导体电火花线切割的特性。
- 刘志东邱明波汪炜田宗军黄因慧
- 关键词：锗半导体电火花加工线切割
