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陕西省教育厅科研计划项目(05JS02)

作品数：1 被引量：2H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇折射率
  • 1篇离子能量
  • 1篇薄膜折射率
  • 1篇IBAD

机构

  • 1篇西安工业大学

作者

  • 1篇杭凌侠
  • 1篇刘政

传媒

  • 1篇西安工业大学...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
IBAD工艺中离子参数与薄膜折射率研究被引量：2
2007年
采用五栅网离子能量测量装置和法拉第筒测量了宽束冷阴极离子源的离子能量和离子束流密度.当Ar气流量为20 sccm,在不同的放电电压和引出电压下,测得离子能量分布范围为400～820 eV,束流密度分布范围为7.8～52.8μA/cm2.在O2气流量为20 sccm时,沉积在不同离子能量辅助下的TiO2薄膜,研究了离子能量对于薄膜光学特性的影响,得到了折射率为2.3的薄膜,接近块状材料的折射率.
杭凌侠刘政
关键词：离子能量折射率
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共1页<1>
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