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北京市科技计划项目(XJZZ0620)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：杨一博张明超王春洪尹文生朱煜更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：北京市科技计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇自整定
  • 1篇温度
  • 1篇温度控制
  • 1篇温控
  • 1篇温控系统
  • 1篇温控系统设计
  • 1篇系统设计
  • 1篇扩散炉
  • 1篇高温氧化
  • 1篇PID自整定

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇朱煜
  • 1篇尹文生
  • 1篇王春洪
  • 1篇张明超
  • 1篇杨一博

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高温氧化扩散炉温控系统设计被引量：2
2009年
针对半导体行业高温氧化扩散炉设备设计、实现了一套炉温控制软硬件系统。硬件系统由多路开关、温度变送器、工控机、信号输入输出板卡组成。在此硬件基础上根据工艺要求设计控温软件的结构与算法,改进了PID参数整定算法,引入了轨迹规划算法,完成了多段炉体的控温、斜变升温、PID参数整定和自动温区分布。实验表明,在此系统控制下,炉体能够达到高温氧化扩散工艺的需求,并且系统的扩展性、稳定性、精确性等方面得到了提高。此温度控制系统已经应用于工业用高温氧化扩散炉设备。
杨一博尹文生王春洪朱煜张明超
关键词：扩散炉温度控制PID自整定
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