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河南省教育厅自然科学基金(2010A490001)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：张仲建包良满余本海刘江峰李晓林更多>>
相关机构：信阳师范学院中国科学院上海应用物理研究所更多>>
发文基金：中国科学院科研装备研制项目河南省教育厅自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇微结构
  • 1篇抗蚀剂

机构

  • 1篇信阳师范学院
  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇雷前涛
  • 1篇李晓林
  • 1篇刘江峰
  • 1篇余本海
  • 1篇包良满
  • 1篇张仲建

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
扫描质子微探针质子束刻写被引量：2
2012年
质子束刻写技术利用MeV能量的聚焦质子束对抗蚀剂材料直接刻写μm甚至nm尺度微结构。研究了质子束刻写中抗蚀剂胶层样品厚度与涂层机旋转速度的关系以及曝光对抗蚀剂的影响,解决了质子束刻写中抗蚀剂厚胶层样品的制备、固化、显影等技术问题,利用扫描质子微探针系统,在正型抗蚀剂胶层上刻写出μm尺度的"海宝"图形、双矩形结构,在负型抗蚀剂上刻写出μm尺度的平行线条、"十"字形微结构。
雷前涛刘江峰包良满张仲建余本海李晓林
关键词：微结构抗蚀剂
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