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西北工业大学基础研究基金(JC201113)

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题名
作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇陀螺
  • 1篇微机械陀螺
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇何洋
  • 1篇吕湘连

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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基于近似模型的y轴微机械陀螺系统级优化
2012年
提出一种基于近似模型的MEMS系统级优化方法,给出具体实现流程,并结合一个y轴微机械陀螺进行优化。该方法解决了如何得到近似优化目标函数表达式的关键问题。所得的y轴微机械陀螺优化参数,使得陀螺驱动模态谐振频率fx和检测模态谐振频率fz分别为3 074 Hz和2 998 Hz,两者之间相差7 6 Hz,较好的实现了模态匹配,且都在3 000 Hz的设计要求附近,约束条件也得到了满足。该优化方法为在MEMS设计中快速获得系统级优化方案提供较好参考。
吕湘连何洋
关键词：MEMS微机械陀螺
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