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西北工业大学基础研究基金(JC201111)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氧空位
  • 1篇双极
  • 1篇HFO
  • 1篇X

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇刘正堂
  • 1篇谭婷婷
  • 1篇李艳艳

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
HfO_x薄膜双极电阻转变特性及其机理的研究
2012年
本文采用射频磁控溅射法在ITO/Glass衬底上制备了Cu/HfOx/Ti MIM结构,对其电学性能和化学成分进行了分析。结果表明,Cu/HfOx/Ti结构在不发生软击穿(forming)的情况下具有明显的双极电阻转变特性,高低阻比大于10,并且具有良好的重复性与保持性。HfOx薄膜中含有大量的氧空位,电阻转变过程可能与氧空位形成的导电细丝有关。
李艳艳刘正堂谭婷婷
关键词：氧空位
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