江苏省产学研前瞻性联合研究项目(BY2012005)
- 作品数:5 被引量:7H指数:2
- 相关作者:王鸣郭余庆王凯王凯李龙更多>>
- 相关机构:南京师范大学江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司更多>>
- 发文基金:江苏省产学研前瞻性联合研究项目国家自然科学基金江苏省普通高校研究生科研创新计划项目更多>>
- 相关领域:理学化学工程电子电信更多>>
- 泡生法不同轴向蓝宝石的生长和光谱特性研究
- 2015年
- 应用自行研发的泡生法蓝宝石设备生长了a向及c向蓝宝石晶体,测量了它们的吸收光谱、摇摆曲线,采用KOH腐蚀并观察了两种不同生长方向的晶体缺陷,对两种不同生长方向晶体缺陷的差异进行了分析。结果表明采用a向籽晶生长的蓝宝石晶体透过率略优于c向籽晶生长的晶体,a向生长晶体晶格完整性高于c向生长晶体,c向生长的蓝宝石晶体位错密度明显高于a向生长的蓝宝石晶体。
- 郭余庆王凯葛楠楠王鸣
- 关键词:泡生法蓝宝石晶体缺陷
- 泡生法蓝宝石晶体炉不同保温屏材料的性能比较分析被引量:4
- 2015年
- 泡生法蓝宝石晶体炉内保温屏是炉内温场的重要部件,并对晶体生长有重要影响。本文对不同的保温屏材料的影响进行了计算分析。通过分析加热功率、晶体温度分布、固液界面形状,比较钨钼、石墨、氧化锆三种材料的保温屏的保温性能和对晶体生长的影响,结果表明:氧化锆保温性能优于钨钼保温屏,而石墨保温性能最差。选用钨钼保温屏和氧化锆保温屏晶体温度分布较为接近,且高于选用石墨保温屏时的温度分布。石墨保温屏对应的固液界面形状最大,钨钼屏其次,而氧化锆材料时形状最平缓。
- 郭余庆葛楠楠王凯李泽焱王鸣
- 关键词:泡生法蓝宝石
- 泡生法蓝宝石单晶炉热屏对热场的影响分析被引量:3
- 2014年
- 对泡生法生长蓝宝石单晶进行了数值模拟,计算分析了晶体温度场分布规律。通过改变顶部保温屏的层数、侧壁保温屏的层数、反射屏的开口半径大小,分析热场的影响,得到了各参数与温度分布及温度梯度的变化关系。模拟发现,适当减少顶部保温屏层数,增大反射屏开口,可以增加晶体径向温度梯度;适当增加顶部保温屏层数,增大反射屏开口,可减小晶体轴向温度梯度。而侧壁屏层数几乎无影响。最后将分析结果与实验相结合,进行实验验证,成功获得了质量较好的蓝宝石单晶。
- 王凯郭余庆胡章中黄浩斐王鸣
- 关键词:泡生法数值模拟蓝宝石单晶炉
- 采用溶胶凝胶协同自组装与光刻相结合的方法在反蛋白石结构薄膜中引入二维缺陷
- 2014年
- 采用溶胶凝胶协同自组装与光刻相结合的方法,在光子晶体反蛋白石结构中引入缺陷,通过溶胶凝胶协同自组装方法在硅片上垂直沉积胶体晶体复合薄膜,把BP212正性光刻胶均匀旋涂在复合薄膜上,通过曝光、显影等光刻工艺,把掩膜版图案复制在复合薄膜上,用此样品再次垂直沉积一层复合薄膜,使图案被复合薄膜覆盖.最后去除胶体微球与光刻胶图案,从而在反蛋白石结构中引入缺陷,用扫描电子显微镜对样品进行表征.分析了光刻胶图案对胶体微球排列的影响.
- 李龙王鸣倪海彬沈添怿
- 关键词:胶体晶体光刻
- 泡生法大尺寸蓝宝石晶体的生长速率对固液界面的影响被引量:2
- 2015年
- 采用有限元法,对泡生法生长蓝宝石晶体不同生长阶段固液界面的形状和温度梯度进行模拟计算,探讨分析了生长速率对放肩、等径阶段蓝宝石生长的影响。结果表明:固液界面凸出度在放肩阶段较大,在等径阶段凸出度相对较小,固液界面温度梯度随着晶体生长不断减小。在合理速率范围内,放肩阶段0~2 mm/h,速率对固液界面的影响很小,等径阶段2~5 mm/h,速率对固液界面的影响越来越大,固液界面温度梯度和形变均随速率的增大而减小。利用模拟结果,调节实际晶体生长工艺参数,成功长出80 kg的大尺寸高质量蓝宝石晶体。
- 王凯郭余庆王鸣葛楠楠
- 关键词:泡生法蓝宝石晶体有限元固液界面生长速率