辽宁省科技厅博士启动基金(20041022)
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
- 相关作者：陈立佳熊光连娄茁宋贵宏更多>>
- 相关机构：沈阳工业大学更多>>
- 发文基金：辽宁省科技厅博士启动基金辽宁省教育厅高等学校科学研究项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 铜合金表面Ti/TiN多层膜的制备、结构及其性能被引量：4
- 2012年
- 为了研究多层膜的腐蚀性能,促进多层膜在生产中的应用,采用电弧离子镀技术,通过调整环境N2和Ar气的时间比例在铜衬底上成功制备了不同调制周期的Ti/TiN多层膜.利用x-射线衍射谱和交流阻抗谱研究了该多层膜的结构和腐蚀性能.表面形貌显示,沉积的Ti/TiN多层膜具有明显的周期性,环境中N2和Ar气的时间比例决定了多层膜的调制周期,N2气时间越长,多层膜中TiN相层越厚.腐蚀性能测定表明,多层膜的调制周期影响其耐蚀性,当调制周期为550 nm时,沉积膜的耐腐蚀性最好.
- 宋贵宏娄茁熊光连陈立佳
- 关键词：电弧离子镀调制周期
