哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金资助(HITMD200101)
- 作品数：6 被引量：42H指数：4
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- 相关机构：哈尔滨工业大学哈尔滨理工大学更多>>
- 发文基金：哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金资助国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 硅基PZT压电功能结构被引量：2
- 2009年
- 为获得适合单片集成的硅基PZT压电功能结构,对近年PZT薄(厚)膜在MEMS领域的研究现状进行了综述分析,提出了一种新型的双杯PZT/Si膜片式功能结构。采用有限元方法对双杯PZT/Si膜片进行了结构优化,得到PZT和上下硅杯的结构优化值为DPZT∶D1∶D2=0.75∶1.1∶1,一阶模态谐振频率为13.2kHz。以氧化、双面光刻、各向异性刻蚀以及精密丝网印刷等工艺技术制作了双杯硅基PZT压电厚膜膜片,膜片具有压电驱动功能,PZT压电膜厚达80μm。实验表明,双杯PZT/Si膜片式功能结构的MEMS技术兼容性好,对芯片内其它元件或电路的影响小,适合作为MEMS片内执行元件的驱动机构。
- 王蔚田丽刘晓为任明远张颖
- 关键词：PZT微机电系统
- MEMS兼容PZT压电厚膜的性能测试被引量：1
- 2004年
- 丝网印刷法制备PZT厚膜工艺与MEMS技术兼容.通过调整PZT印刷浆料粘度,并采取多次套印、多次退火及合理的烧结工艺,在硅膜片上获得了较致密的PZT厚膜.采用悬臂梁方法对制备的Ag/PZT/SiO2/n+Si结构复合压电厚膜进行了直接测试,结果表明PZT压电厚膜的压电常数d31可达70×10-12m/V,以此方法制备的压电厚膜适合作为MEMS执行器的微驱动元件.
- 王蔚刘晓为兰慕杰霍明学
- 关键词：PZT压电厚膜丝网印刷MEMS
- 小卫星星载操作系统内核的设计被引量：8
- 2002年
- 小卫星由于一些突出的优点正成为研究的焦点，而星载操作系统是星务管理软件指挥卫星运行的平台。当前没有专门为小卫星设计的实时操作系统，一般都是对通用嵌入式实时操作系统进行裁剪来完成，需要很大的工作量。在某小卫星设计的基础上，提出了一种星载实时操作系统内核的设计方法，其特点是：面向小卫星应用，代码少、实时性强、稳定性高。
- 王永恒廖明宏
- 关键词：小卫星微内核任务管理
- 压电膜片的优化设计及在微泵中的应用被引量：7
- 2006年
- 压电驱动是微机械系统(MEMS)微执行器最有发展前途的驱动方式之一。该文采用ANSYS有限元软件对压电膜片结构参数和在微执行器上的装配方法进行了优化设计,得到PZT/Si,PZT/Cu压电膜片结构的优化数据,将其应用于有阀微泵的研制。经测试,微泵压电驱动效果与仿真结果一致,微泵背压可达836 Pa,流量达1.4 mL/min。
- 王蔚刘晓为陈伟平鲍志勇
- 关键词：仿真压电驱动膜片微泵
- 小卫星星载计算机及其外围设备的管理被引量：18
- 2002年
- 在现代小卫星通用平台的设计中 ,由于功能及计算量的增加 ,使得对星载计算机及其外围设备的管理成为制约系统性能和可靠性的瓶颈 .针对这一问题 ,以某小卫星为例 ,讨论了现代小卫星星务管理软件对星载计算机及其外围设备的管理方法和技术 .通过引入实时多任务嵌入式操作系统 ,设计以多任务并行运行为主要特征的星务管理软件体系结构 ,把外设划分为二级三类 ,通过调度任务对与不同外设相对应的任务进行调度 ,并裁剪PSOS实时多任务操作系统 ,提高代码利用率 ,缩短了系统的运行周期 ,提高了系统控制精度和可靠性 .
- 程光明廖明宏吴翔虎
- 关键词：小卫星星载计算机外围设备
- 小卫星星务管理软件的设计被引量：12
- 2002年
- 针对小卫星自主飞行和自主管理的要求,以某小卫星为例,介绍星务管理软件的基本功能、体系结构和系统设计.并对软件设计原则、多任务设计、数据通信、双机容错和故障诊断与处理作了较详细的讨论.充分利用多任务操作系统的能力,在体系结构上,将星务管理、姿控管理、数据通信和容错系统彩一体化设计,在不影响正常飞行任务的前提下,有效地提高系统的可靠性,较好地解决了小卫星期自主飞行和自主管理的难题.
- 廖明宏程光明吴翔虎
- 关键词：小卫星星载计算机自主飞行自主管理
