广东省自然科学基金(04011297)
- 作品数：4 被引量：8H指数：2
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- 气相生长氮化铝单晶的新方法被引量：8
- 2007年
- 通过在钨坩埚盖开小孔的方法改变氮化铝结晶衬底上的温度场分布,在开孔处形成局部低温区;由于孔的几何尺寸的限制和氮化铝晶体生长的各向异性,开孔处的氮化铝晶体单晶化;随后,开孔处的单晶起籽晶的作用,逐渐长成较大尺寸、较高质量的氮化铝单晶。目前用该方法已经制备出直径大于2mm的氮化铝单晶体。
- 武红磊郑瑞生孙秀明罗飞杨帆刘文敬守勇
- 关键词：氮化铝单晶
- 坩埚预处理技术在氮化铝晶体生长工艺中的应用被引量：3
- 2006年
- 在氮化铝晶体生长工艺中,坩埚的使用寿命是主要技术难点之一。实验发现,在钨坩埚体和盖之间放置内径和外径与坩埚相同的石墨环,在氮气环境下进行一次高温处理,使钨坩埚体与盖接触的部位形成碳化钨保护层,可以有效地解决高温下钨坩埚体与盖相粘结的问题,大大提高了坩埚的使用寿命。使用经过预处理的钨坩埚,用物理气相法生长出0.8mm×1.5mm氮化铝单晶体和36mm×5mm氮化铝多晶片。
- 武红磊郑瑞生孙秀明罗飞杨帆刘文敬守勇
- 关键词：坩埚
- 粉料预处理方法对氮化铝晶体形态的影响
- 2007年
- 以氮化铝粉料为原料，在高纯氮气条件下用物理气相法制备氮化铝晶体。采用不同方法对氮化铝粉料进行预处理，研究它对氮化铝晶体形态的影响。实验结果表明，通过对氮化铝粉料的预烧结，可以有效地减少粉料中杂质的含量，实现合适的气体输运速率，从而得到了尺寸较大、质量较高的六棱柱形的氮化铝单晶体。
- 孙秀明郑瑞生武红磊杨帆刘文敬守勇
- 关键词：氮化铝晶体晶体形态
- 氮化铝晶须的形态与生长条件的关系
- 2006年
- 实验以氮化铝粉料为原料,在高纯氮气气氛下用物理气相法在密闭式和半开式钨坩锅内高温生长出氮化铝晶须;并对氮化铝晶须的结晶形态与生长条件的关系进行了分析和探讨。
- 鲁枫郑瑞生刘文敬守勇武红磊孙秀明
- 关键词：氮化铝晶须
