山东省自然科学基金(ZR2011AQ023)
- 作品数：2 被引量：2H指数：2
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- 相关机构：大连理工大学鲁东大学更多>>
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- 相关领域：理学机械工程更多>>
- KBA型X射线显微系统被引量：2
- 2013年
- KBA型X射线显微镜的物与像不在同一水平面上,采用双对准方式解决了在靶室安装这套仪器的困难。与通常的光学系统不同,KBA显微镜的伪光轴与实轴夹角8.748 6°,设计了观察系统,保证了掠入射角的要求。KBA显微镜的物方孔径角很小,用可见光装调焦深很大,无法满足要求,因此设计了辅助光学成像系统,满足了焦深为±5mm的要求。
- 赵玲玲孙德林胡家升
- 关键词：掠入射
- KBAX射线显微镜分辨力模型被引量：2
- 2011年
- 综合考虑了几何像差、衍射效应和加工精度等因素对KBA X射线显微镜分辨力的影响,构建了分辨力模型。通过光线追迹模拟得到了不同视场位置的边缘响应函数,以20%～80%的评价标准确定了几何像差分辨力。由构建的空间分辨力模型得到理论分辨力。KBA X射线显微镜整个视场几何像差分辨力、理论分辨力和实测分辨力基本一致。用单层膜KBA显微镜获得的X射线成像结果,得出中心视场的分辨力约为4μm,±100μm视场的分辨力优于5μm。实验结果表明,几何像差对空间分辨力影响权重相对较大,是影响空间分辨力的决定性因素,其它因素的影响相对较小。
- 赵玲玲胡家升孙德林王刚
