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天津市科技支撑计划重点项目(10ZCKFGX01200)
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
相关作者:
钱莉荣
杨保和
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相关机构:
天津理工大学
天津大学
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发文基金:
天津市科技计划
天津市科技支撑计划重点项目
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相关领域:
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有效介电常数
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1篇
刚石
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天津大学
1篇
天津理工大学
作者
1篇
杨保和
1篇
钱莉荣
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物理学报
年份
1篇
2013
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ZnO薄膜/金刚石在不同激励条件下声表面波特性的计算与分析
被引量:5
2013年
本文首先以刚度矩阵法为基础,给出了ZnO薄膜/金刚石在四种不同激励条件下的有效介电常数计算公式.然后以此为工具,分别计算了多晶ZnO(002)薄膜/多晶金刚石和单晶ZnO(002)薄膜/多晶金刚石的声表面波特性,并根据计算结果及设计制作声表面波器件的要求,对ZnO膜厚的选择进行了详细地分析.最后讨论了ZnO/金刚石/Si复合晶片可以忽略Si衬底对声表面特性影响时对金刚石膜厚的要求.
钱莉荣
杨保和
关键词:
声表面波
有效介电常数
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