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中央高校基本科研业务费专项资金(2010HGXJ0224)

作品数：1 被引量：15H指数：1
相关作者：汪祖民陈兴许高斌更多>>
相关机构：合肥工业大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金安徽省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电阻
  • 1篇压敏电阻
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇高G值
  • 1篇SOI
  • 1篇MEMS加速...

机构

  • 1篇合肥工业大学

作者

  • 1篇许高斌
  • 1篇陈兴
  • 1篇汪祖民

传媒

  • 1篇电子测量与仪...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析被引量：15
2010年
基于SOI技术,利用ICP体硅深加工,设计分析了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元,采用三梁-扇形质量块平板内振动结构。对称的布局方式,有效的消除了灵敏度的交叉干扰,提高了传感器的测量精度。论文建立了理论模型,并利用ANSYS软件对传感器进行模拟分析与验证,理论与模拟分析结论吻合较好。分析表明,加速度计在X轴向和Y轴向灵敏度分别为1.2μv/g和1.18μv/g;谐振频率分别为479kHz和475kHz。可实现对量程高达25万g加速度的测量。
许高斌汪祖民陈兴
关键词：加速度计SOI
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