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国家自然科学基金(11104295)

作品数:5 被引量:22H指数:3
相关作者:刘世杰刘杰崔辉杨俊赵元安更多>>
相关机构:中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院大学南京理工大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:理学机械工程电子电信更多>>

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 3篇机械工程
  • 3篇理学
  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇掩模
  • 1篇衍射
  • 1篇衍射效率
  • 1篇遗传算法
  • 1篇英文
  • 1篇谱学
  • 1篇清晰度
  • 1篇清晰度评价
  • 1篇全内反射
  • 1篇子孔径
  • 1篇子孔径拼接
  • 1篇显微技术
  • 1篇接近式光刻
  • 1篇宽带
  • 1篇光刻
  • 1篇光谱
  • 1篇光谱学
  • 1篇光学邻近效应
  • 1篇光栅
  • 1篇飞秒

机构

  • 4篇中国科学院上...
  • 3篇中国科学院大...
  • 1篇南京理工大学

作者

  • 4篇刘世杰
  • 1篇晋云霞
  • 1篇刘文文
  • 1篇赵元安
  • 1篇王青
  • 1篇周游
  • 1篇侯永强
  • 1篇易葵
  • 1篇王斌
  • 1篇杨俊
  • 1篇崔辉
  • 1篇郭猛
  • 1篇何骏
  • 1篇何凯
  • 1篇刘杰
  • 1篇李煦

传媒

  • 2篇光学学报
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇Chines...

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 2篇2013
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
Femtosecond laser damage of broadband pulse compression gratings被引量:1
2013年
The fabricated gratings used for an 800-nm compressed laser pulse have more than 90% di?raction e?ciency in the –1st order for TE polarization within 760–860 nm, and the maximum value is 94.3%. The laserinduced damage threshold(LIDT) of the gratings increases from 0.53 to 0.75 J/cm 2 in the normal beam in a pulse width τ of 40–100 fs. The LIDT of the gratings is observed a τ 0. 25 scaling in the pulse width region. The damage morphologies of the gratings indicate that the initial damage of the gratings locates at the grating lines, a position that coincides with that of the electric field maximum.
孔钒宇晋云霞刘世杰陈顺利关贺元何凯杜颖贺洪波
一种修正子孔径拼接中系统误差的方法被引量:5
2014年
通过对子孔径拼接中系统误差放大效应的分析研究,提出一种修正由干涉仪参考平晶引入的系统误差的方法。该方法只需利用三面互检获取参考平晶在拼接轴上(水平和垂直方向)的面形数据,再用该数据构建参考平晶的面形误差修正波面,即运用Zernike多项式(离焦和像散项)对误差修正波面进行低阶二次曲面的拟合,并在子孔径拼接测量中进行实时修正。实验证明,该方法能够消除由干涉仪参考平晶所引起的系统误差对拼接的影响,有效提高拼接波面的精度。
周游王青刘世杰
关键词:子孔径拼接
厚胶接近式光刻中掩模优化研究(英文)
2015年
随着光刻胶厚度的不断增大,制作的光刻图形畸变愈发严重,这极大的影响了微结构器件的性能与应用。针对高深宽比柱状微结构在光刻胶厚度方向上畸变的特点,提出了双面曝光和亮衬线、灰阶掩模相结合的办法,利用遗传算法对失真影响最大的区域进行搜索,光刻胶内部各层的衍射光场分布作为评价函数,对光刻过程引起的畸变进行优化。仿真结果显示,优化后光刻胶各层面型质量得到极大的改善,特征尺寸和边墙角等参数与理论值吻合得更好。优化算法具有很好的灵活性,因此在用于更厚光刻胶、更复杂掩模图形的优化上,具有重要的指导意义。
何骏刘世杰王斌郭猛王岳亮
关键词:光刻光学邻近效应遗传算法
用于脉冲压缩光栅的宽带高分辨率光谱测量技术被引量:4
2013年
以多层介质膜或金属膜为基底的脉冲压缩光栅在利特罗角附近使用,具有衍射效率高、衍射光谱带宽等特点,需要对其衍射光谱进行高分辨率的准确测量,以便为其制作工艺的改进提供可靠依据。根据双光路测量原理,建立了衍射光栅高分辨率光谱测量技术和实验装置。重点阐述了双束光路设计消除光源波动和杂散光对衍射效率测试结果影响的原理,通过光路改进解决了衍射光斑过大,且不能被光探测器完全收集的技术难点以及衍射光与入射光共路导致的探测器挡光问题。该装置可以测量宽带脉冲压缩光栅各级次的反射衍射光谱和透射衍射光谱,也可以测量在固定波长处的衍射角谱分布。目前的衍射光谱测试分辨率为1nm,角谱分辨率为0.2°。采用该装置测量了脉冲压缩光栅样品的光谱与角谱,在衍射效率超过90%的770~870nm的衍射带内,多次测量的平均相对偏差小于1.0%,可能的测量误差小于2.2%。
何凯刘世杰侯永强李煦晋云霞易葵
关键词:光栅光谱学衍射效率宽带高分辨率
全内反射显微技术探测亚表面缺陷新方法研究被引量:12
2014年
亚表面缺陷的检测和去除对于提高光学元件的激光损伤阈值至关重要。结合全内反射显微技术和数字图像处理技术获得光学元件亚表面缺陷信息的新方法,利用显微镜系统的有限焦深,对亚表面缺陷沿深度方向扫描,可以获得不同离焦量下的散射图像,通过数字图像处理技术,建立缺陷散射图像清晰度评价值与离焦量的关系,通过清晰度曲线得到亚表面缺陷的深度位置及深度尺寸。模拟全内反射显微平台的成像过程,讨论微调焦过程中全内反射显微成像的特点。缺陷深度位置及深度尺寸的测量精度主要由载物台精密调焦机构的精度以及显微镜的焦深决定,一般可达微米量级。利用飞秒激光加工技术制备尺寸和位置已知的微结构,使用该方法准确获得了微结构信息,验证了该方法的有效性。
崔辉刘世杰赵元安杨俊刘杰刘文文
关键词:清晰度评价
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