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国家自然科学基金(11104293)
作品数:
1
被引量:3
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相关作者:
崔辉
杨俊
邵建达
易葵
胡国行
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相关机构:
中国科学院大学
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发文基金:
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2014
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熔石英再沉积层结构的纳米级表征和杂质分析
被引量:3
2014年
利用原子力显微镜观察熔石英不同蚀刻时间的表面形貌,结合二次离子质谱分析,研究了熔石英的再沉积层结构和杂质分布。结果表明,熔石英表面深度10nm的再沉积层内存在大量微裂纹和杂质,经蚀刻展开形成nm级划痕和坑点,其分布随着深度增加呈指数衰减。根据nm级划痕密度、宽深比随蚀刻深度变化的规律,估算出再沉积层厚度,估算结果与二次离子质谱测得的杂质嵌入深度基本一致。杂质元素嵌入深度与抛光微裂纹分布特征的关联性表明,杂质很有可能藏匿在抛光微裂纹中。
杨俊
易葵
魏朝阳
胡国行
崔辉
邵建达
关键词:
熔石英
蚀刻
二次离子质谱
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