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国家自然科学基金(11104293)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：崔辉杨俊邵建达易葵胡国行更多>>
相关机构：中国科学院大学中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇质谱
  • 1篇熔石英
  • 1篇蚀刻
  • 1篇离子
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米级
  • 1篇二次离子质谱
  • 1篇层结构
  • 1篇沉积层

机构

  • 1篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇魏朝阳
  • 1篇胡国行
  • 1篇易葵
  • 1篇邵建达
  • 1篇杨俊
  • 1篇崔辉

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
熔石英再沉积层结构的纳米级表征和杂质分析被引量：3
2014年
利用原子力显微镜观察熔石英不同蚀刻时间的表面形貌,结合二次离子质谱分析,研究了熔石英的再沉积层结构和杂质分布。结果表明,熔石英表面深度10nm的再沉积层内存在大量微裂纹和杂质,经蚀刻展开形成nm级划痕和坑点,其分布随着深度增加呈指数衰减。根据nm级划痕密度、宽深比随蚀刻深度变化的规律,估算出再沉积层厚度,估算结果与二次离子质谱测得的杂质嵌入深度基本一致。杂质元素嵌入深度与抛光微裂纹分布特征的关联性表明,杂质很有可能藏匿在抛光微裂纹中。
杨俊易葵魏朝阳胡国行崔辉邵建达
关键词：熔石英蚀刻二次离子质谱
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