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广东省自然科学基金(105102750100094)
作品数:
1
被引量:8
H指数:1
相关作者:
李晓莉
张卫红
于晓龙
陈建
谢方艳
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相关机构:
中山大学
海南大学
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发文基金:
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2013
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氩离子刻蚀还原氧化铜的XPS研究
被引量:8
2013年
利用X射线光电子能谱(XPS)及氩离子刻蚀技术,通过改变氩离子枪的刻蚀模式,原位研究氩离子刻蚀对氧化铜的还原情况。结果发现在极其微弱的氩离子束流轰击下,CuO即被还原,刻蚀初期变化较大,之后达到稳恒状态。对Cu2p峰拟合,同时结合俄歇CuLMM峰变化,判定纯CuO经氩离子刻蚀后最终转变为氧化铜、氧化亚铜及少量单质铜的共存状态。研究结果将对氧化铜深度剖析中化学状态的判断具有重要参考价值。
李晓莉
谢方艳
龚力
张卫红
于晓龙
陈建
关键词:
氧化铜
X射线光电子能谱
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