重庆市自然科学基金(2007BB3220)
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
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- 相关机构：重庆光电技术研究所重庆科技学院中国石油天然气集团公司更多>>
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- 相关领域：电子电信更多>>
- 微细厚铜金属互连线制作技术研究
- 2010年
- 微细厚铜金属互连线不仅具有耐大电流的能力,而且具有低的电阻值,在MEMS领域具有重要的应用。采用分布式涂胶法,通过控制各工艺参数,在PC板衬底上制备了厚的光刻胶掩模图形。利用恒流电镀法在PC板衬底上沉积出宽度为5μm,间距为5μm的厚金属铜互联线,可为厚金属互连工艺提供一定的技术支持。
- 江永清钟强吴英叶嗣荣刘小芹
- 关键词：电镀MEMS金属互连
- 基于碳纳米管的微纳单元的实验研究
- 2009年
- 利用碳纳米管生长技术和微加工技术,开展了微纳单元的实验方法研究,探索了"管压电极"和"电极压管"的微纳单元制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这两种工艺均可以加工出具有欧姆接触或者是肖特基接触的微纳单元,但"管压电极"工艺具有过程简单、成本低等特点,为基于碳纳米管的微纳单元的集成化制备工艺提供了新的思路。
- 江永清吴英向毅周兆英杨兴许迪方泽佳
- 关键词：碳纳米管生长微加工工艺
- 基于FIB技术的微纳单元的研制
- 2009年
- 利用碳纳米管表面气相生长技术和聚焦离子束(FIB)加工等微纳加工技术,开展了微纳单元的工艺方法研究,探索了基于碳纳米管的微纳结构单元的实验制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这种制备工艺可以加工出具有欧姆接触或肖特基接触的微纳单元,为基于碳纳米管的微纳单元的制作提供了一定的思路。
- 吴英江永清李斌向毅许迪聂洪彬
- 关键词：碳纳米管气相生长FIB
