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山西省自然科学基金(2009011059-16)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：刘正李杰赵敏刘俊薛晨阳更多>>
相关机构：中北大学更多>>
发文基金：山西省自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇透射
  • 1篇透射谱
  • 1篇全固化
  • 1篇芯片
  • 1篇芯片级
  • 1篇集成光波导
  • 1篇光波
  • 1篇波导

机构

  • 1篇中北大学

作者

  • 1篇闫树斌
  • 1篇严英占
  • 1篇薛晨阳
  • 1篇刘俊
  • 1篇赵敏
  • 1篇李杰
  • 1篇刘正

传媒

  • 1篇红外与激光工...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
芯片级全固化集成光波导陀螺被引量：5
2011年
高灵敏、全固态、集成制造的微光-机-电陀螺是未来发展的新一代惯性器件,在深空探测、载人航天以及飞行器制导技术领域具有迫切应用需求。提出基于光波导微腔透射谱输出特性的惯性测量方法与系统基础结构,并对其惯性测量原理、微加工工艺以及耦合性能进行了讨论。利用数值拟合得到波导耦合系统设计优化参数,采用激光熔融热处理技术,降低了波导表面粗糙度,测试获得品质因数约为108的高Q值微腔,为芯片级全固化集成光波导陀螺的制造奠定了基础。
闫树斌赵敏刘正李杰严英占薛晨阳刘俊
关键词：集成光波导透射谱
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