国家自然科学基金(60706025)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
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- 激光加热效应在硅显微Raman光谱测量中的影响被引量：3
- 2008年
- 本文从理论和实验两方面研究了显微Raman光谱测量中,激光功率对单晶硅样品测量的影响。由于显微Raman光谱仪对激光的聚焦作用,使得激光对不同厚度的样品具有微区加热作用,被测样品产生不同程度的温升,从而对显微Raman光谱仪在硅材料应力和温度的测量中产生影响。实验结果证明,对无限厚硅样品,20mW的激光使Raman频移达到0.15cm-1;而对2μm厚的热薄硅样品,26mW的激光使Raman频移达到4.47cm-1。
- 伍晓明郁鉴源任天令刘理天
- 关键词：激光加热
- 显微拉曼光谱术在微纳电子学研究中的应用
- 2011年
- 拉曼光谱对被测样品的晶格与分子振动、转动能量非常敏感,而且拉曼光谱的测量具有非破坏性。在微纳电子学研究中,需要原位的、高空间分辨率的、非接触的测量方法研究各种材料、器件的晶态、应力、热学性质等参数。由此,显微拉曼光谱术就成为一种能够满足上诉要求的、实现多种参数测量的重要的手段。本文通过调研和实验研究了显微拉曼光谱术在硅、低维碳纳米材料等的晶态、应力、热学等研究领域的具体应用,以及一些新出现的研究手段。从大量的相关报道不难看出,显微拉曼光谱术在微纳电子学的进一步发展中将会有更为广泛和深入的应用。
- 刘溪伍晓明任天令
- 关键词：微电子晶态应力温度热导率
