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表面工程技术国家级重点实验室基金(914C540107090C54)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：盖志刚陈焘罗崇泰张平更多>>
相关机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
发文基金：表面工程技术国家级重点实验室基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇光学
  • 2篇光学性
  • 2篇光学性能
  • 1篇电阻
  • 1篇电阻温度系数
  • 1篇性能研究
  • 1篇碳化硅
  • 1篇碳化硅薄膜
  • 1篇气相沉积
  • 1篇热敏电阻
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇溅射
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇薄膜光学
  • 1篇硅
  • 1篇碳
  • 1篇氧
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 3篇中国科学院兰...

作者

  • 3篇陈焘
  • 2篇张平
  • 1篇董茂进
  • 1篇李晨
  • 1篇罗崇泰
  • 1篇王多书
  • 1篇盖志刚

传媒

  • 1篇真空与低温

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
碳化硅薄膜制备方法及光学性能的研究进展被引量：6
2009年
碳化硅薄膜有密度小、热导率高、热膨胀系数低、硬度高等优异的性能。介绍了制备碳化硅薄膜的2种常用方法,即化学气相沉积和磁控溅射技术,比较了2种方法的各自优势。总结了碳化硅薄膜光学性能及短波发光特性的研究进展。
张平罗崇泰陈焘盖志刚
关键词：碳化硅薄膜化学气相沉积磁控溅射光学性能
薄膜热敏电阻的研究进展
电子信息技术的发展对电子元器件提出小型化、集成化的要求,薄膜热敏电阻的研究受到人们的重视。本文就薄膜热敏电阻的最新发展,包括薄膜热敏电阻的制备工艺,电阻温度系数、响应时间等作了综述;并对柔性基底薄膜热敏电阻、红外探测用薄...
董茂进陈焘
关键词：热敏电阻电阻温度系数
文献传递
硅碳氧薄膜光学性能研究
硅碳氧(SiCO)薄膜是一种三元玻璃状化合物材料,具有热稳定性好、能带宽、折射率大、硬度高等特性,是一种具有潜在应用价值的新颖光学薄膜材料。本文采用射频磁控溅射技术在Si (100)及K9玻璃上制备了硅碳氧薄膜。利用椭圆...
李晨陈焘王多书张平
关键词：光学性能
文献传递
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