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国家高技术研究发展计划(2002AA404150)

作品数：5 被引量：28H指数：2
相关作者：陈迪孙洪文刘景全伊福廷彭良强更多>>
相关机构：上海交通大学中国科学院河海大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划上海市科学技术委员会资助项目上海市科委重大科技攻关项目更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇微加工
  • 1篇英文
  • 1篇正交
  • 1篇正交法
  • 1篇正交实验
  • 1篇同步辐射装置
  • 1篇图案
  • 1篇微加工技术
  • 1篇离子束
  • 1篇模压
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米压印
  • 1篇纳米压印技术
  • 1篇聚焦离子束
  • 1篇高宽比
  • 1篇高深宽比
  • 1篇SU-8
  • 1篇SU-8胶
  • 1篇UV-LIG...
  • 1篇镍

机构

  • 5篇上海交通大学
  • 2篇中国科学院
  • 1篇河海大学

作者

  • 4篇陈迪
  • 2篇韩勇
  • 2篇刘景全
  • 2篇张菊芳
  • 2篇彭良强
  • 2篇伊福廷
  • 2篇孙洪文
  • 1篇张金娅
  • 1篇李建华
  • 1篇顾盼
  • 1篇朱军
  • 1篇杨斌
  • 1篇黄军容
  • 1篇方华斌

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇电子工艺技术
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2005
  • 2篇2004
  • 2篇2003
共 5 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
BSRF上的微细塑铸研究
2003年
利用北京同步辐射装置 (BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具 ,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法。结果表明采用自制模压装置 ,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果 ;真空模压在这四种方法中具有最好的精度 ,但若不进行工艺参数优化 。
韩勇彭良强陈迪伊福廷张菊芳黄军容
关键词：BSRF同步辐射装置
利用背面曝光技术制造大高宽比SU8结构的一种新方法(英文)被引量：1
2004年
提出了一种解决大高宽比 SU 8结构的新方法 .该方法是将 SU 8胶涂在一块掩模上 ,紫外光从掩模的背面照射 ,这样 SU 8胶的曝光将从底部开始 ,不需要进行过曝光来保证底部胶的曝光剂量 ,从而很容易控制曝光剂量和SU 8胶结构的内应力 .实验结果表明 ,该方法能够得到高宽比为 32的 SU 8结构 ,而文献报道的 SU 8胶结构的高宽比最大仅为
伊福廷缪鹏彭良强张菊芳韩勇
关键词：MEMS微加工
低温纳米压印技术制备微纳图案的研究被引量：3
2008年
纳米压印需要将聚合物加热到它的玻璃化温度以上,然后用印章压印使其复制印章图案。采用低玻璃化温度的SU-8 2000.1和Hybrane胶体转移图案,能够在低温、甚至室温下实现微纳图案的转移。采用的印章制备方法是聚焦离子束(FIB)直接在衬底上制备图案,从而避免了传统工艺中效率较慢的电子束加工和取消了反应离子刻蚀步骤;并且采用FIB方法可同时在衬底上制备微米、纳米尺度的图案。实验结果表明用FIB方法可以得到比较均匀致密的微纳米图案印章,经过低温纳米压印后可成功地实现微纳图案的复制。
孙洪文刘景全陈迪
关键词：纳米压印聚焦离子束
超厚SU-8负胶高深宽比结构及工艺研究被引量：22
2005年
采用新型SU-8光刻胶在UV-LIGA技术基础上制备了各种高深宽比MEMS微结构,研究了热处理和曝光两个重要因素对高深宽比微结构的影响,解决了微结构的开裂和倒塌等问题;优化了SU-8胶工艺,从而获得了最大深宽比为27:1的微结构。
张金娅陈迪朱军李建华方华斌杨斌
关键词：UV-LIGA技术SU-8胶
LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用
LIGA技术是微机电系统(MEMS)的一种重要的微加工技术,介绍了LIGA、准LIGA技术的基本工艺、特点,以及在光学和光通讯、生命科学和医学、化学、微机械等领域中的应用。
陈迪蔡炳初
关键词：LIGA技术
文献传递
正交法对DEM技术中模压工艺的优化研究被引量：2
2004年
DEM(Deepetching,Electroforming,Microreplication)技术是一种三维微细加工技术,由深刻蚀、微电铸和微复制三种工艺组成。其中微复制常采用模压工艺,而模压工艺具有许多参数,为了确定主要影响因素和最佳工艺条件,首次用正交实验方法对模压工艺进行优化。用镍模具对聚碳酸酯(PC)进行模压,得到影响因素主次为:模压温度>施加压力>加力速度>加力时间,优化参数为:模压温度180℃,压力3000N,加压速度0 2mm/min,力维持时间120s。用得到的优化参数进行实验得到了最佳的实验结果,由此证明了此方法的可行性。
孙洪文刘景全陈迪顾盼
关键词：DEM技术模压正交实验
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