沈阳科晶设备制造有限公司
- 作品数:11 被引量:6H指数:2
- 相关作者:江晓平张革陈辉王远成李景春更多>>
- 相关机构:东北微电子研究所北京科技大学更多>>
- 发文基金:国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域:电子电信更多>>
- 全自控无级调压双无级变速高精度研磨抛光机
- 本发明涉及一种机械设备,特别是一种用于人工晶体、金相样品制备的全自控无级调压双无级变速高精度研磨抛光机。全自控无级调压双无级变速高精度研磨抛光机,包括有机架、防护罩、载样盘、研磨盘。载样盘安装在立式载样盘电机轴上的联轴器...
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- 全自控高精度晶体线切割机
- 本发明涉及一种切割设备,特别是由计算机控制的高效率高精度的线切割机。本发明由机架、绕丝滚筒、Z轴工作台、Y轴工作台、张紧装置、摆动装置、夹具组成。绕丝滚筒由可调速的直流电机拖动其反正转,张紧装置由一对微型气缸弹性支撑切割...
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- 晶体生长炉
- 本实用新型属于一种直拉法生产各种氧化物人工晶体的专用设备。其特征在于:炉体为圆筒形立式双层夹套结构,中间有冷却水;籽晶杆通过柔性带、减速轮组与电机联接;手动机构通过传动杆、同步带与滚珠丝杠联接。本实用新型的目的在于提供一...
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- 大面积金刚石自支撑膜机械抛光的优化工艺研究被引量:2
- 2007年
- 研究了一种用于抛光等离子体溅射CVD法制备的金刚石自支撑膜的高效安全的抛光工艺。试验探索了转盘转速、金刚石粉颗粒尺寸、磨盘表面形状对金刚石自支撑膜磨抛速率的影响。研究表明:带槽盘对金刚石自支撑膜的粗研磨效果明显,速率较高,平面盘对提高金刚石自支撑膜的表面粗糙度有利;不同颗粒的金刚石粉对应着各自合适的能充分利用其磨削能力的转速,在这个转速下,金刚石自支撑膜的磨抛速率在12μm/h左右。本文通过对新的工艺参数的探索,为金刚石自支撑膜后续加工提供有力的技术支持。
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- 关键词:机械抛光
- 白宝石(Al2O3)晶体基片的抛光液的研制及加工工艺
- 白宝石(AlO)晶体基片是生产蓝色发光体及蓝色激光器的基础材料。衬底表面质量好坏,直接影响器件的性能和成品率。因此,(AlO)晶体基片衬底加工技术,如同其他半导体晶片一样,经历了不断发展和完善而成为晶体基片加工的一个新亮...
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- 自动滴料器
- 本实用新型提供了可为研磨抛光机滴料的一种自动滴料器,其技术要点是:它是由混料滚筒装置、驱动器和送料装置组成,驱动器是由电机通过传动带,驱动带摩擦轮的长轴组成,混料滚筒置于摩擦轮上,混料滚筒的内壁上均匀设置若干筋片,送料装...
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- 全自控无级调压双无级变速高精度研磨抛光机
- 本发明涉及一种机械设备,特别是一种用于人工晶体、金相样品制备的全自控无级调压双无级变速高精度研磨抛光机。全自控无级调压双无级变速高精度研磨抛光机,包括有机架、防护罩、载样盘、研磨盘。载样盘安装在立式载样盘电机轴上的联轴器...
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- 全自控高精度晶体线切割机
- 本发明涉及一种切割设备,特别是由计算机控制的高效率高精度的线切割机。本发明由机架、绕丝滚筒、Z轴工作台、Y轴工作台、张紧装置、摆动装置、夹具组成。绕丝滚筒由可调速的直流电机拖动其反正转,张紧装置由一对微型气缸弹性支撑切割...
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- 低速金刚石切割机
- 本实用新型涉及一种切割加工各种晶体、宝石、玻璃、陶瓷等坚硬材料的小型精密切割设备。本实用新型是采用一种电源采用脉宽调制技术,保证电动机在低速转速下能稳定工作(即不出现爬行现象),具有精确调整进给量和“0”间隙摆动工作臂的...
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- 数控提拉机
- 数控提拉机,涉及一种电子机械设备。该提拉机包括有:中心控制器、伺服电机、减速器、电磁离合器、缆丝筒、基体和提拉总成,伺服电机与减速器相连接,减速器安装在支架上并与电磁离合器一端连接,另一端与缆丝筒相连接,缆丝筒安装在支架...
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