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株式会社克莱斯泰克

作品数：10 被引量：0H指数：0
相关机构：株式会社理光更多>>

合作机构

文献类型

  • 10篇中文专利

主题

  • 8篇电子束
  • 6篇电子源
  • 5篇照射
  • 3篇图案
  • 2篇电极
  • 2篇电源
  • 2篇信息记录
  • 2篇扫描图像
  • 2篇扫描线
  • 2篇透镜
  • 2篇图像
  • 2篇偏转
  • 2篇位置控制
  • 2篇物镜
  • 2篇细线
  • 2篇像差
  • 2篇校正方法
  • 2篇量子
  • 2篇描画
  • 2篇描图

机构

  • 10篇株式会社克莱...
  • 8篇株式会社理光

年份

  • 3篇2011
  • 2篇2010
  • 4篇2009
  • 1篇2006
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
面辐射型电子源和绘制装置
本发明的面辐射型电子源具有：平面状的第一电极；与第一电极相对设置的平面状的第二电极；设置在第一电极和第二电极之间的电子通过层；以及对第二电极和第一电极施加电压的电源部。电子通过层中，隔开规定的间隔而设置多个量子细线，并从...
小岛明大井英之
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电子束记录装置
公开了一种电子束记录装置，其通过使用电子束将信息记录到样本的表面上。该电子束记录装置包括：电子源，其照射电子束；磁检测器，其被配置为移动到照射轴上并移出照射轴，并获取关于照射轴的磁信息；会聚位置控制部分，其根据磁信息计算...
小原隆宫崎武司
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电子束记录装置
公开了一种电子束记录装置，其通过使用电子束将信息记录到样本的表面上。该电子束记录装置包括：电子源，其照射电子束；磁检测器，其被配置为移动到照射轴上并移出照射轴，并获取关于照射轴的磁信息；会聚位置控制部分，其根据磁信息计算...
小原隆宫崎武司
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像差评估图案、像差评估方法和像差校正方法
本发明公开了一种照射电子束的照射系统的像散的评估方法。在该方法中，由多个(例如四个)同心圆组成的图形图案形成于参考样品WP上，且基于通过将该电子束扫描在参考样品WP上得到的电子信号而形成图像(扫描图像)。在该扫描图像中，...
宫田弘幸宫崎武司小林一彦林国人
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面辐射型电子源和绘制装置
本发明的面辐射型电子源具有：平面状的第一电极；与第一电极相对设置的平面状的第二电极；设置在第一电极和第二电极之间的电子通过层；以及对第二电极和第一电极施加电压的电源部。电子通过层中，隔开规定的间隔而设置多个量子细线，并从...
小岛明大井英之
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电子束施加装置和描画装置
本发明公开一种电子束施加装置，其包括：发射电子束的热场发射类型的电子源(12)；正好设置在电子源(12)下面并且作为将由电子源在第一孔径张角中发射的电子束集聚在小于第一孔径张角的第二孔径张角中的集聚电极的静电透镜(14)...
宫崎武司大井英之小原隆
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像差评估图案、像差评估方法、像差校正方法、电子束描绘设备、电子显微镜、原盘、压模、记录介质和结构
本发明公开了一种照射电子束的照射系统的像散的评估方法。在该方法中，由多个(例如四个)同心圆组成的图形图案形成于参考样品WP上，且基于通过将该电子束扫描在参考样品WP上得到的电子信号而形成图像(扫描图像)。在该扫描图像中，...
宫田弘幸宫崎武司小林一彦林国人
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绘制方法、绘制装置和信息记录介质
本发明公开了一种绘制方法和装置，电子束被照射到物体表面上，以在物体表面上沿着扫描线绘制图案。通过物体相对于电子束的相对运动，由电子束在物体表面上沿着扫描线形成图案。沿着与扫描线相交的第一方向和与第一方向相反的第二方向中的...
宫崎武司村山升
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电子束施加装置和描画装置
本发明公开一种电子束施加装置，其包括：发射电子束的热场发射类型的电子源(12)；正好设置在电子源(12)下面并且作为将由电子源在第一孔径张角中发射的电子束集聚在小于第一孔径张角的第二孔径张角中的集聚电极的静电透镜(14)...
宫崎武司大井英之小原隆
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绘制方法、绘制装置和信息记录介质
本发明公开了一种绘制方法和装置，电子束被照射到物体表面上，以在物体表面上沿着扫描线绘制图案。通过物体相对于电子束的相对运动，由电子束在物体表面上沿着扫描线形成图案。沿着与扫描线相交的第一方向和与第一方向相反的第二方向中的...
宫崎武司村山升
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