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无锡华润微电子有限公司
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2004
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浅沟槽隔离结构及其制作方法
本申请涉及一种浅沟槽隔离结构及其制作方法。其中,浅沟槽隔离结构包括:浅沟槽,位于衬底内;离子注入区,位于衬底内,且位于浅沟槽的底壁外围;隔离材料层和等离子体阻挡层,填充于浅沟槽内,且等离子体阻挡层位于离子注入区与隔离材料...
马凤麟
于绍欣
金兴成
王志伟
光电二极管单元及光电二极管阵列
本发明涉及一种光电二极管单元及光电二极管阵列,包括:衬底,具有第二导电类型;第一阱区,具有第一导电类型,设于所述衬底内;第二阱区,具有第二导电类型,设于所述第一阱区内;所述第一导电类型和第二导电类型为相反的导电类型;红外...
马凤麟
于绍欣
李玉岱
贝帮坤
陈天
陈晓亮
金兴成
基板及封装结构
本发明涉及一种基板及封装结构。一种基板,所述基板用于半导体器件的封装,所述基板包括绝缘板和设于所述绝缘板第一表面的至少一个第一导电层图形,一个所述第一导电层图形用于与所述半导体器件的一个器件电极相连接,且通过所述第一导电...
淳于江民
文献传递
电子束胶光掩模板的去胶方法及其装置
本发明涉及一种电子束胶光掩模板的去胶装置,安装在机座下部的驱动气缸其活塞杆通过联板与驱动连杆连接,驱动连杆与支座固定连接;安装在机座上部的外槽体的槽壁四周安装有上喷嘴、底板有排液流道;内槽体通过支承架安装在外槽体内,托架...
金海涛
徐飞
田炜
赵延峰
毛汛
文献传递
半导体器件及其制备方法
本申请涉及半导体器件及其制备方法,通过在半导体基底的隔离结构上形成开孔,开孔的底部露出部分衬底,进而在露出部分衬底的表面形成第一合金层,在开孔内形成与第一合金层接触的衬底引出结构,从而使衬底引出结构通过第一合金层与衬底形...
陈晓亮
陈天
钱忠健
用于静电防护的SOI栅极接地MOS器件结构及其制造方法
本发明涉及一种用于静电防护的SOI栅极接地MOS器件结构及其制造方法,所述器件结构包括:阱区,设于绝缘层上;漏区,设于阱区内的上部,漏区的外轮廓是正多边形;源区,环绕漏区设置于阱区内的上部,源区的外轮廓是正多边形;栅极,...
陈晓亮
陈天
钱忠健
文献传递
存储单元结构、存储阵列结构及其制备方法
本申请具体涉及一种存储单元结构、存储阵列结构及其制备方法,包括:选择开关晶体管;平面电容,包括下电极、电容介质层及上电极;下电极位于选择开关晶体管的上方,与选择开关晶体管的源极电连接,且与选择开关晶体管具有间距;电容介质...
金兴成
杨晓芳
郭崇永
张建
快恢复二极管及其制造方法
本发明涉及一种快恢复二极管的制造方法,包括如下步骤:提供N型低掺杂衬底;在所述N型低掺杂衬底的第一表面形成功能区和终端分压环区;在所述N型低掺杂衬底的第二表面进行深注入,形成位于N型低掺杂衬底内的N型掺杂层;在所述N型低...
陈天
顾勇
于绍欣
张旭
廖永亮
文献传递
半导体设备管理系统及其协议转换模块、半导体设备管理方法
本发明公开一种协议转换模块,用于在半导体通信模块和制造执行系统之间传递与半导体设备的通信数据,所述半导体通信模块与半导体设备之间进行符合HSMS协议的通信,所述协议转换模块为:能够加载所述半导体通信模块工程文件、且可以由...
钱晓燕
文献传递
控制电路和电源转换电路
本发明涉及一种用于控制开关电源中开关器件的导通时间的控制电路和电源转换电路,该控制电路利用能够根据输入电压Vin、输出电流Iout和工作模式自适应变化的电流源,改变充电电容充电至第一参考电压的时长,从而自适应补偿开关电源...
段卫垠
淳于江民
弓小武
陈剑
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