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苏州芯镁信电子科技有限公司
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桂林聚联科技有限公司
电子科技大学
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电子科技大学
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作者
2篇
黄勇军
年份
9篇
2025
7篇
2024
6篇
2023
13篇
2022
9篇
2021
3篇
2020
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一种适用于高温高压环境的氢浓度传感器
本实用新型公开一种适用于高温高压环境的氢浓度传感器,包括传感器探头部、信号处理线路板和防水连接部;所述传感器探头部包括承压隔温层和向外凸出的传感器腔室,所述承压隔温层的一端与传感器腔室的底部相抵接,用于将传感器腔室侧的高...
姜熙君
吴楠
龙治锦
一种气体检测组件及其制备方法
本申请公开一种气体检测组件及其制备方法,该气体检测组件包括:基底,以及沿远离基底方向上依次设置的第一测温层、隔离层、第二测温层;第一测温层包括加热元件和第一测温元件,第二测温层包括第二测温元件,第一测温元件与第二测温元件...
马可贞
吴楠
徐晓苗
沈方平
张梦
一种旁热式硅基薄膜催化氢气传感器及其加工方法
本发明提供一种旁热式硅基薄膜催化氢气传感器,本氢气传感器通过MEMS加工工艺获得,包括硅基底,所述硅基底上表面设有绝热层,所述硅基底下表面开有一个或一对延伸至所述绝热层的绝热槽,所述绝热层表面设有一对高电阻温度系数材料组...
沈方平
硅基腔光机械系统洛伦兹力磁场传感器加工方法
本发明公开了一种硅基腔光机械系统洛伦兹力磁场传感器加工方法,包括以下步骤S1、准备SOI衬底;S2、在SOI衬底表面蒸镀一层绝缘介质层,在绝缘介质层上蒸镀一层金属薄膜形成洛伦兹线圈结构;S3、通过图形化处理和等离子体增强...
黄勇军
陈鼎威
施钦凯
文光俊
李建
沈方平
孙国庆
一种不含介质层的太赫兹阵列传输天线的制备方法
本发明提供一种不含介质层的太赫兹阵列传输天线的制备方法,具体涉及到天线技术领域。本发明包括如下:对硅片进行清洗,然后通过氮气对硅片进行烘干;烘干的硅片表面沉积一层氮化硅;硅片表面沉积一层金属种子层;金属种子层上进行匀胶、...
沈方平
马可贞
徐晓苗
一种氢气传感器及其制备方法
本申请公开一种氢气传感器及其制备方法,该氢气传感器包括:基底和沿远离基底的方向上依次设置第一薄膜、传感器组件和第二薄膜;传感器组件包括加热电阻、温度电阻和至少两个热敏电阻,至少两个热敏电阻与加热电阻相邻布置,温度电阻远离...
马可贞
吴楠
徐晓苗
沈方平
一种低功耗MEMS氢气传感器
本实用新型提供一种低功耗MEMS氢气传感器,包括衬底层、下绝缘层、金属丝层和上绝缘层;衬底层表面开隔热槽,下绝缘层覆盖于衬底层上,下绝缘层设有与隔热槽对应的镂空窗口;金属丝层包括贵金属材质的第一金属丝和第二金属丝,第一金...
马可贞
沈方平
徐晓苗
吴楠
一种氢浓度传感器模组
本实用新型公开一种氢浓度传感器模组,采用热导式氢气传感器探头,拥有更快的响应时间和更长的使用寿命;模组体积小巧,仅仅占用电池包BMS线路板上较小的空间;支持模拟量,设有UART接口和SPI接口输出,选择性较大;模组采用邮...
姜熙君
徐宗亮
王震怀
吴楠
龙治锦
一种恒温热导率气体传感器及制备方法
本发明公开了一种恒温热导率气体传感器及制备方法,包括衬底、位于所述衬底上的绝缘层、位于所述绝缘层上的温控层与位于所述温控层上的保护层;所述温控层包括至少一个加热单元、多个制冷单元与多个测温单元,所述多个制冷单元位于所述加...
马可贞
陈婷婷
吴楠
徐宗亮
沈方平
一种气体传感器模组烧录测试台架和装置
本实用新型公开一种气体传感器模组烧录测试台架和装置,所述测试台架包括载板、探针板、气路三通管和待测试的气体传感器模组;气体传感器模组的气体传感器正对或位于载板上开设的测试通孔内;探针板的中部镂空且固定设置有若干测试探针;...
姜熙君
徐宗亮
王震怀
吴楠
龙治锦
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