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武汉鼎泽新材料技术有限公司

作品数：18 被引量：0H指数：0
相关机构：湖北鼎龙控股股份有限公司湖北鼎汇微电子材料有限公司更多>>
相关领域：电子电信化学工程医药卫生文化科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 18篇中文专利

领域

  • 5篇电子电信
  • 3篇化学工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇文化科学

主题

  • 5篇清洗液
  • 5篇化学机械抛光
  • 5篇机械抛光
  • 3篇抛光
  • 3篇晶片
  • 2篇形貌分析
  • 2篇铜表面
  • 2篇抛光液
  • 2篇羟胺
  • 2篇污染
  • 2篇污染物
  • 2篇下表面
  • 2篇限位
  • 2篇落下
  • 2篇浸泡
  • 2篇控制阀门
  • 2篇计时器
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇阀门

机构

  • 18篇武汉鼎泽新材...
  • 12篇湖北鼎龙控股...
  • 9篇湖北鼎汇微电...

年份

  • 7篇2024
  • 6篇2023
  • 1篇2021
  • 2篇2020
  • 2篇2019
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种颗粒物清除效率的快速评价方法
本发明公开了一种颗粒物清除效率的快速评价方法，对半导体制造中化学机械抛光处理后的晶圆表面颗粒物的清除效率进行评价，包括：切割处理晶片得到晶片样品，进行沾染实验，获得待清洗的晶样；进行形貌分析，获得清洗前三维形貌图像；用清...
胡怀志刘子龙冉运马超魏志远朱顺全
文献传递
评价晶片清洗效率的方法及实验装置
本发明涉及一种用于评价晶片清洗效率的方法及实验装置，解决了现有方法准确性不高、存在系统误差和人为误差的问题。方法为将粘染物溶液滴入旋转中的晶片样品表面进行沾染实验，获得表面带有缺陷的沾染晶片样品；使用形貌表征仪器对沾染晶...
刘子龙胡怀志冉运朱顺全
文献传递
一种清洗液管路供给装置
本实用新型公开了一种清洗液管路供给装置，包括进液管，所述进液管的表面设置有控制阀门，所述进液管的出液端连接有蓄液箱，所述蓄液箱的上表面设置有剂量盒，所述蓄液箱的内顶壁固定连接有直角板，所述直角板的竖板侧面固定连接有导液板...
陈俊武 刘子龙 肖桂林
一种抛光液温度控制装置
本实用新型公开了一种抛光液温度控制装置，包括储存盒，所述储存盒的两侧分别设置有进液管和出液管，且出液管的表面设置有控制阀门，所述储存盒的上表面设置有设备盒，所述设备盒的内底壁设置有马达，且马达的输出端固定连接有传动杆，所...
黄维 刘子龙 肖桂林
一种清洗液贮留罐
本实用新型公开了一种清洗液贮留罐，包括罐体，所述罐体的底部固定连接有限位环，所述限位环的下表面转动连接有底座，所述底座的上表面转动连接有凸盘，所述底座的侧面卡接有直角杆，所述直角杆的一端设置有阻尼转轴，所述罐体的上表面设...
冉运 肖文正 刘子龙 肖桂林
晶圆清洗刷、清洗装置及清洗方法
本发明涉及一种晶圆清洗刷，为多层圆柱体结构，包含旋转轴心，刷体以及清洁凸点，所述旋转轴心位于圆柱体中心处，所述刷体位于旋转轴心外周，且与旋转轴心固定或可拆卸连接，所述清洁凸点位于所述刷体外表面；所述刷体包含一层或多层树脂...
胡怀志 高越 李亚东 王欢 肖桂林
一种光刻胶调配釜的清洗装置
本实用新型公开了一种光刻胶调配釜的清洗装置，包括釜体，所述釜体的下表面固定连接有支撑机构，所述支撑机构的上表面设置有清洗机构，所述支撑机构包括支撑釜体的支撑柱，所述支撑柱的底端固定连接有支撑板，所述支撑板的下表面四角均固...
胡怀志胡盼刘子龙肖桂林
水溶性聚合物及其制备方法、其在研磨用组合物中的应用
本申请提供了一种水溶性聚合物及其制备方法、其在研磨用组合物中的应用，涉及水溶性高分子领域。该水溶性聚合物的结构通式如下：<Image file="DDA0005065562140000011.GIF" he="331" ...
栗华张云鹏刘子龙肖桂林
评价晶片清洗效率的实验装置
本实用新型涉及一种评价晶片清洗效率的实验装置，解决了现有方法准确性不高、存在系统误差和人为误差的问题。包括：支架，设置在所述支架上的真空吸附晶片样品并带动晶片样品旋转的真空旋转装置，以及设置在所述支架上的将粘染物溶液或清...
刘子龙胡怀志冉运朱顺全
文献传递
具有高精密计时控制的浸泡装置
本实用新型公开了一种具有高精密计时控制的浸泡装置，属于液体浸泡法所用装置技术领域，为解决现有方法系统误差与人为误差较大等问题而设计。本实用新型具有高精密计时控制的浸泡装置包括自上而下依次连通设置的盛液容器、浸泡容器和回收...
刘子龙马超
文献传递
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共2页<12>
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