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上海先综检测有限公司

作品数：10 被引量：0H指数：0
相关机构：上海集成电路研发中心更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作机构

文献类型

  • 10篇中文专利

领域

  • 9篇自动化与计算...

主题

  • 6篇图案
  • 6篇布图
  • 6篇存储介质
  • 4篇信号
  • 4篇晶圆
  • 4篇画面显示
  • 2篇信号功率
  • 2篇信号功率谱
  • 2篇信息条件
  • 2篇圆检测
  • 2篇摄像
  • 2篇摄像模块
  • 2篇设计布局
  • 2篇速率
  • 2篇图像
  • 2篇图像分辨率
  • 2篇图像信号
  • 2篇缺陷位置
  • 2篇重要度
  • 2篇物理仿真

机构

  • 10篇上海集成电路...
  • 10篇上海先综检测...

年份

  • 5篇2023
  • 5篇2020
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种检测对象缺陷图案的提取装置、提取方法及存储介质
本发明涉及一种检测对象缺陷图案的提取装置、提取方法及存储介质。该提取装置包括缺陷检测结果读取模块、缺陷检测结果解析模块、布图数据读取模块、布图数据解析模块、规则库解析模块、物理仿真执行解析模块、图案匹配执行解析模块和数据...
小林尚弘李铭赵宇航卢意飞黄寅
文献传递
一种晶圆检测装置、数据处理方法及存储介质
本发明提供一种晶圆检测装置、数据处理方法及存储介质，该装置包括检测目标图像生成单元和数据处理单元，数据处理单元包括预处理模块和降噪模块，预处理模块包括光刻模拟器和噪声功率谱提取模块，布图光刻模拟器对作为检测对象的设计结果...
三桥隆马常群赵宇航卢意飞李铭李琛王鹏飞
文献传递
检测对象缺陷图案的优先级排序装置、排序方法及存储介质
本发明提供一种检测对象缺陷图案的优先级排序装置、排序方法及存储介质。该优先级排序装置包括缺陷检测结果读取模块、缺陷检测结果解析模块、布图数据读取模块、布图数据解析模块、布图数据单元解析模块、数据处理解析模块、缺陷位置重要...
小林尚弘卢意飞赵宇航李铭黄寅
文献传递
一种半导体器件的缺陷检查方法、装置和可读存储介质
一种半导体缺陷检查的装置和方法，该方法包括接收制作半导体晶圆曝光图形的工序信息、掩模图形的信息和/或与所述半导体晶圆具有相同的曝光图案并经相同的工序处理后的晶圆的缺陷频率的信息；确定半导体晶圆曝光图形的缺陷检查位置，模拟...
冈崎信次卢意飞赵宇航李铭王建国
文献传递
一种晶圆检测装置、数据处理方法及存储介质
本发明提供一种晶圆检测装置、数据处理方法及存储介质，该装置包括检测目标图像生成单元和数据处理单元，数据处理单元包括预处理模块和降噪模块，预处理模块包括光刻模拟器和噪声功率谱提取模块，布图光刻模拟器对作为检测对象的设计结果...
三桥隆马常群赵宇航卢意飞李铭李琛王鹏飞
检测对象缺陷图案的优先级排序装置、排序方法及存储介质
本发明提供一种检测对象缺陷图案的优先级排序装置、排序方法及存储介质。该优先级排序装置包括缺陷检测结果读取模块、缺陷检测结果解析模块、布图数据读取模块、布图数据解析模块、布图数据单元解析模块、数据处理解析模块、缺陷位置重要...
小林尚弘卢意飞赵宇航李铭黄寅
一种缺陷检查的装置和方法
本发明提供一种缺陷检查的装置和方法，该方法包括采用位置测量模块测量被检查对象的位置信息；根据位置信息，当被检查对象移动了摄像模块的一个像素时，产生一定时脉冲，并通过校正定时脉冲误差，将该定时脉冲延迟一个时钟之后输出；根据...
玉虫秀一李琛赵宇航李铭卢意飞王鹏飞
文献传递
一种缺陷检查的装置和方法
本发明提供一种缺陷检查的装置和方法，该方法包括采用位置测量模块测量被检查对象的位置信息；根据位置信息，当被检查对象移动了摄像模块的一个像素时，产生一定时脉冲，并通过校正定时脉冲误差，将该定时脉冲延迟一个时钟之后输出；根据...
玉虫秀一李琛赵宇航李铭卢意飞王鹏飞
一种半导体器件的缺陷检查方法、装置和可读存储介质
一种半导体缺陷检查的装置和方法，该方法包括接收制作半导体晶圆曝光图形的工序信息、掩模图形的信息和/或与所述半导体晶圆具有相同的曝光图案并经相同的工序处理后的晶圆的缺陷频率的信息；确定半导体晶圆曝光图形的缺陷检查位置，模拟...
冈崎信次卢意飞赵宇航李铭王建国
一种检测对象缺陷图案的提取装置、提取方法及存储介质
本发明涉及一种检测对象缺陷图案的提取装置、提取方法及存储介质。该提取装置包括缺陷检测结果读取模块、缺陷检测结果解析模块、布图数据读取模块、布图数据解析模块、规则库解析模块、物理仿真执行解析模块、图案匹配执行解析模块和数据...
小林尚弘李铭赵宇航卢意飞黄寅
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