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一般财团法人电力中央研究所
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株式会社电装
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昭和电工株式会社
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碳化硅单晶及其制造方法
在SiC单晶(6)的生长中添加重金属元素,将其添加密度设定为1×10<Sup>15</Sup>cm<Sup>‑3</Sup>以上。这样的构成的SiC单晶(6)是不易因生长中产生的热应力而产生位错的SiC单晶。因此,在将S...
徳田雄一郎
上东秀幸
星乃纪博
土田秀一
镰田功穗
文献传递
碳化硅单晶锭、碳化硅晶片和碳化硅单晶的制造方法
[课题]本发明提供能够抑制贯通刃型位错被转变成棱柱面位错以及棱柱面位错被转变成基底面位错的碳化硅单晶的制造方法、以及碳化硅单晶锭和碳化硅晶片。[解决手段]利用气体法使碳化硅单晶在种基板的表面生长时,以种基板的矢径方向上的...
别役洁
星乃纪博
镰田功穗
土田秀一
冈本武志
神田贵裕
碳化硅单晶的制造方法和碳化硅单晶锭
[课题]本发明提供使晶体生长速度为高速且从基底面位错转变成贯通刃型位错的转变率得以提高的碳化硅单晶的制造方法、以及碳化硅单晶锭。[解决手段]通过制作由相对于{0001}面具有[1‑100]方向的离轴角的碳化硅形成的种基板...
別役洁
星乃纪博
镰田功穗
土田秀一
堀合慧祥
冈本武志
振动发电元件
振动发电元件具备:一对电极,其相互相对地配置,且至少任意一方能移动;以及离子凝胶,其被设为介于一对电极之间,使离子液体凝胶化而形成,电极通过来自外部的振动而在一对电极的间隔变化的方向上移动,由此隔着电极与离子凝胶的界面而...
藤田博之
三屋裕幸
小野新平
文献传递
碳化硅铸锭、碳化硅铸锭的制造方法和碳化硅晶片的制造方法
本发明提供:在封闭籽晶中的微管的同时减少了螺旋位错的聚集的碳化硅铸锭、其制造方法和碳化硅晶片的制造方法。一种碳化硅铸锭,其具备:由碳化硅单晶构成、且具有作为中空缺陷的微管(5)的籽晶(2);设于籽晶(2)上的由碳化硅构成...
镰田功穗
星乃纪博
别役洁
土田秀一
冈本武志
堀合慧祥
碳化硅单晶晶片及碳化硅单晶锭的制造方法
提供能获得高品位的碳化硅单晶的碳化硅单晶晶片的制造方法及碳化硅单晶晶片。通过气相生长法来制造的碳化硅单晶晶片,其中,晶片所包含的位错密度为3500个/cm<Sup>2</Sup>以下,在所述晶片的中心部、所述晶片的端部、...
镰田功穗
土田秀一
星乃纪博
德田雄一郎
冈本武志
振动发电元件
振动发电元件具备:一对电极,其相互相对地配置,且至少任意一方能移动;以及离子凝胶,其被设为介于一对电极之间,使离子液体凝胶化而形成,电极通过来自外部的振动而在一对电极的间隔变化的方向上移动,由此隔着电极与离子凝胶的界面而...
藤田博之
三屋裕幸
小野新平
文献传递
碳化硅单晶及其制造方法
在SiC单晶(6)的生长中添加重金属元素,将其添加密度设定为1×10<Sup>15</Sup>cm<Sup>‑3</Sup>以上。这样的构成的SiC单晶(6)是不易因生长中产生的热应力而产生位错的SiC单晶。因此,在将S...
徳田雄一郎
上东秀幸
星乃纪博
土田秀一
镰田功穗
碳化硅单晶和碳化硅单晶的制造方法
一种碳化硅单晶(6)的制造方法包括:向籽晶(5)的表面供应含有碳化硅原料气体的供应气体(3a)并控制环境使得加热容器内的至少一部分为2500℃或更高,由此在籽晶的表面上生长碳化硅单晶。生长碳化硅单晶包括控制以籽晶和碳化硅...
堀合慧祥
冈本武志
神田贵裕
星乃纪博
别役洁
镰田功穂
土田秀一
金村高司
碳化硅单晶晶片及碳化硅单晶锭的制造方法
本发明是碳化硅单晶晶片及碳化硅单晶锭的制造方法。提供能获得高品位的碳化硅单晶的碳化硅单晶晶片的制造方法及碳化硅单晶晶片。通过气相生长法来制造的碳化硅单晶晶片,其中,晶片所包含的位错密度为3500个/cm<Sup>2</S...
镰田功穗
土田秀一
星乃纪博
德田雄一郎
冈本武志
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