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K.C.科技股份有限公司

作品数：163 被引量：0H指数：0
相关机构：汉阳大学校产学协力团三星电子株式会社汉阳大学校产业协力团更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 163篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 61篇基板
  • 30篇抛光
  • 29篇晶片
  • 26篇研磨
  • 26篇化学机械抛光
  • 26篇机械抛光
  • 21篇移送
  • 20篇喷嘴
  • 18篇抛光装置
  • 16篇研磨装置
  • 14篇狭缝
  • 13篇感器
  • 13篇传感
  • 12篇半导体
  • 11篇抛光垫
  • 11篇化学机械研磨
  • 10篇研磨工艺
  • 10篇涂布
  • 10篇磨工
  • 10篇划痕

机构

  • 163篇K.C.科技...
  • 15篇汉阳大学校产...
  • 4篇三星电子株式...
  • 1篇汉阳大学校产...

年份

  • 4篇2018
  • 37篇2017
  • 27篇2016
  • 10篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
  • 9篇2012
  • 9篇2011
  • 15篇2010
  • 12篇2009
  • 11篇2008
  • 17篇2007
  • 4篇2006
  • 3篇2005
  • 1篇2003
共 163 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
刷子清洗装置
涉及刷子清洗装置，包括：基板支撑体，转动基板，使得圆盘形状的基板自转；第一清洗刷子，向与基板的自转方向相反方向相接触的第一旋转方向进行旋转驱动，接触基板板面的同时清洗基板板面；第二清洗刷子，以与基板的板面相接触的状态旋转...
安俊镐尹勤植赵玟技
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抛光浆料
本发明揭示一种用于STI CMP(浅槽隔离化学机械抛光)制程的抛光浆料，其为制造256M(mega)D-RAM或更大的超高集成半导体(设计标准为小于或等于0.13μm)所必需，该抛光浆料可以较高移除速率对晶圆进行抛光，与...
金大亨洪锡敏金容国金东炫徐明源朴在勤白云揆
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磨料颗粒、抛光浆料及其制造方法
本发明揭示一种用于STI CMP(浅槽隔离化学机械抛光)制程的抛光浆料，其为制造256M(mega)D－RAM或更大的超高集成半导体(设计标准为小于或等于0.13μm)所必需，该抛光浆料可以较高移除速率对晶圆进行抛光，与...
金大亨洪锡敏金容国金东炫徐明源朴在勤白云揆
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喷嘴单元及包括其的基板处理装置
本实用新型涉及一种喷嘴单元及包括其的基板处理装置，喷嘴单元包括：喷嘴体，其形成有混合室；气体供给流路，其将气体沿着第一方向供给于混合室；液体供给流路，其设置有多个液体供给通道，所述多个液体供给通道将液体沿着与第一方向相交...
尹勤植
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狭缝式涂布机的高粘度涂布液涂布装置及其涂布方法
本发明涉及狭缝式涂布机的高粘度涂布液涂布装置及其涂布方法。所述涂布装置包括：涂布液储藏罐；泵，用于将所述涂布液储藏罐里的涂布液通过供给管路压送至喷嘴侧；控制部，用于控制所述泵及喷嘴的工作；以及压力检测部，用于检测所述供给...
赵康一
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基板移送装置
本实用新型涉及一种基板移送装置，提供一种基板移送装置，其作为以使得结束化学机械研磨工艺的基板放置的状态进行移送的装置，包括：移动主体；基板放置架，其从移动主体向下方延长并以互相面对的形式折曲且设置有两个以上的放置面，并且...
金大石
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化学机械研磨设备的调节器及调节方法
本发明提供一种化学机械研磨设备的调节器及调节方法，该化学机械研磨设备用于在旋转的压板垫上研磨基板。该调节器包括圆盘固定器、活塞杆、外壳及负载传感器。该圆盘固定器紧固精细地切割该压板垫的表面的调节圆盘。该活塞杆将轴向力递送...
徐建植夫在弼金东秀具滋铁全灿云潘俊昊
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玻璃基板边缘检查装置及玻璃基板边缘检查方法
本发明涉及玻璃基板边缘检查装置及利用该装置的玻璃基板边缘检查方法。该玻璃基板边缘检查装置包含：移送部，以用于沿某一方向移送玻璃基板；设在玻璃基板一表面两侧与玻璃基板保持相当于焦距的距离的固定式扫描模块，以用于扫描处于移送...
白云泳罗善福
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化学机械研磨设备、方法及系统
本发明涉及一种化学机械研磨设备、方法及系统，该化学机械研磨系统包含：至少一个研磨压板，以可旋转方式予以安装，其中，压板垫装配于该至少一个研磨压板的上部表面上；导轨，沿着预定的路径予以安置；基板载体单元，包括用以在研磨程序...
夫在弼金东秀徐建植全灿云潘俊昊具滋铁
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化学机械抛光装置用承载头的隔膜及承载头
本实用新型涉及一种化学机械抛光装置用承载头的隔膜及承载头，上述化学机械抛光装置用承载头的隔膜包括：底板，由可挠性材质形成为板状，并对晶片的板面进行加压；侧壁，由可挠性材质形成，并从上述底板的边缘部分向上侧延伸而成，在上述...
孙准皓金昶一金相一
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