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广东先导先进材料股份有限公司

作品数：239 被引量：24H指数：3
相关机构：广东先导稀材股份有限公司有研光电新材料有限责任公司清远先导材料有限公司更多>>
相关领域：化学工程电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作机构

文献类型

  • 216篇专利
  • 17篇期刊文章
  • 6篇标准

领域

  • 16篇化学工程
  • 16篇电子电信
  • 7篇自动化与计算...
  • 6篇金属学及工艺
  • 4篇经济管理
  • 4篇冶金工程
  • 4篇文化科学
  • 3篇理学
  • 2篇轻工技术与工...
  • 2篇环境科学与工...
  • 1篇建筑科学
  • 1篇水利工程
  • 1篇农业科学

主题

  • 56篇晶片
  • 35篇石英管
  • 33篇半导体
  • 31篇砷化镓
  • 24篇单晶
  • 20篇坩埚
  • 19篇多晶
  • 17篇砷化镓单晶
  • 16篇晶体
  • 13篇高纯
  • 12篇石英
  • 12篇籽晶
  • 12篇半导体晶片
  • 11篇抛光
  • 9篇底座
  • 9篇晶体生长
  • 9篇砷
  • 8篇晶圆
  • 7篇脱水
  • 6篇炉体

机构

  • 239篇广东先导先进...
  • 11篇广东先导稀材...
  • 5篇有研光电新材...
  • 4篇清远先导材料...
  • 4篇广东先导稀贵...
  • 3篇有色金属技术...
  • 2篇长春理工大学
  • 2篇北京聚睿众邦...
  • 2篇扬州宁达贵金...
  • 2篇昆明冶金研究...
  • 2篇先导薄膜材料...
  • 1篇华南理工大学
  • 1篇广西壮族自治...
  • 1篇紫金矿业集团...
  • 1篇铜陵有色金属...
  • 1篇云南中科鑫圆...
  • 1篇云锡文山锌铟...
  • 1篇中国有色桂林...
  • 1篇中铝郑州有色...
  • 1篇金属股份有限...

作者

  • 2篇付秀华
  • 1篇刘冬梅
  • 1篇张静

传媒

  • 8篇广东化工
  • 5篇科技风
  • 2篇光学学报
  • 2篇广州化工

年份

  • 2篇2024
  • 1篇2023
  • 7篇2022
  • 78篇2021
  • 62篇2020
  • 28篇2019
  • 44篇2018
  • 16篇2017
  • 1篇2016
共 239 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
锗抛光片表面清洗研究进展被引量：1
2021年
论述了锗晶片表面清洗的不同方法以及表面清洗的机理。锗晶片的表面清洗分为干法清洗和湿法清洗。湿法清洗一般采用氧化、剥离的清洗原理,即首先采用氧化性溶液将锗晶片表面进行氧化,然后再用一定的化学方法将晶片表面的氧化物去除,从而实现对晶片表面的清洗。干法清洗是采用气相化学法去除晶片表面污染物,主要包含热氧化法和等离子清洗法。
周铁军廖彬马金峰宋向荣
关键词：湿法清洗干法清洗
高纯砷的脱氧装置及方法
本发明提出一种高纯砷的脱氧装置，所述脱氧装置包括一脱氧炉，所述脱氧装置还包括与脱氧炉共用一舱门的一手套箱、与脱氧炉通过一气流管道连接的一真空泵以及与真空泵通过气流管道连接的一尾气处理装置，所述脱氧炉与真空泵之间设有一除尘...
曾小东刘留朱刘郭金伯陈昭龙
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旋转装置和气相沉积炉
本公开提供了一种旋转装置和气相沉积炉，旋转装置包括旋转轴、开设有第一连接孔和第三连接孔的上盖板、开设有第二连接孔的下盖板、开设有第四连接孔的第一齿轮、第二齿轮和连接杆。旋转轴穿过上盖板、第一齿轮和下盖板并与下盖板连接，第...
余明朱刘李房斌胡丹谭继军
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一种抛光载具及抛光机
本实用新型公开了一种抛光载具及抛光机，抛光载具包括抛光盘和设置在抛光盘载物面的凸起；凸起的高度与待抛光晶片的厚度相同，且凸起的一侧能够与晶片解理面的边缘相贴合。在对晶片进行抛光时，将待抛光的晶片固定于抛光盘，并使晶片解理...
马金峰唐林峰刘兴达周铁军
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清洗装置
本实用新型提出一种清洗装置，用于清洗晶片，所述清洗装置包括一清洗缸、可升降并可旋转的一立柱、安装在立柱上的一底座、一气缸、一端固定在气缸上的一伸缩管、一控制器，所述气缸能够带动伸缩管前后移动，所述气缸的行程受控制器控制，...
刘留廖彬周铁军沈艳东
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高纯砷的除杂方法
本发明涉及一种高纯砷的除杂方法，其包括如下步骤：S1、石英管预处理；S2、表层砷挥发；S3、破碎、筛分；S4、深度除杂。本方法利用砷在真空条件下可以升华的特性，提供一种高纯砷除Si、S、Na、Mg、Fe、Zn杂质元素的方...
刘留曾小东郭金伯朱刘何志达陈昭龙
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高纯锗粉
本文件规定了高纯锗粉的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于以高纯二氧化锗为原料经氢气还原后，研 磨、筛分生产的高纯锗粉。
多级异型缓流装置
本实用新型提供了一种多级异型缓流装置，包括：炉体；自上而下沿炉体内壁两侧交替设置的若干个储料盘；所述储料盘包括：盘体；所述盘体边缘设有边框，连接炉体内壁的另一侧设有出料口；通过所述出料口与所述盘体相连楔形溢流口；设置在上...
刘留罗爱斌陈章水周铁军宾启雄杨伟蔡新志
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一种石英管固定装置及其应用方法
本发明公开了一种石英管固定装置及其应用方法。本发明石英管固定装置包括第一石英管和与其开口端卡接密封的卡头，卡头包括冷却液空腔和设有调节阀的第一真空管道，冷却液空腔设有冷却液进口和冷却液出口，第一真空管道与所述第一石英管连...
吕新杨易明辉刘建忠周铁军
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一种硫系玻璃非球面透镜加工工装及其安装方法
本发明公开了一种硫系玻璃非球面透镜加工工装及其安装方法，其中硫系玻璃非球面透镜加工工装包括：用于吸附硫系玻璃非球面透镜的工装本体，且工装本体的中心还开设有用于放置硫系玻璃非球面透镜的凹槽；用于连接工装本体和车床的连接杆，...
朱凌强王奎尹士平
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