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上海隐冠半导体技术有限公司
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沈阳工业大学
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64篇
2023
96篇
2022
56篇
2021
29篇
2020
8篇
2019
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一种推顶装置
本实用新型提供一种推顶装置,该推顶装置包括升降驱动部件和接片部件,升降驱动部件位于接片部件下方以驱动接片部件做升降运动,接片部件能够相对于升降驱动部件做旋转运动,接片部件和升降驱动部件设置有旋转解耦部件以使接片部件做旋转...
高元桢
唐艳文
袁嘉欣
吴火亮
江旭初
调平装置
本发明实施例公开了一种调平装置。本发明中,调平装置包括:基座;罩壳,呈筒状并与基座相连,且罩壳和基座形成容置区;端盖,与基座相对设置,设置在罩壳背离基座的一侧;柔性铰链,设置在容置区内,且夹持在基座和端盖之间;柔性铰链设...
黄孝山
付栖勇
刘如德
文献传递
位移装置
本发明提供了一种位移装置,位移装置采用机械导轨对平衡质量部进行导向,无需依靠气压就可正常使用,所以该方案可适用于真空环境。在真空环境中,运动平台在沿第一水平方向移动时,至少第一平衡质量部在第一水平方向相对于运动平台反向移...
龚威
胡兵
杨庆华
江旭初
片状体交接装置和方法及采用该装置的硅片膜厚测量系统
本发明涉及一种片状体交接装置和方法及采用该装置的硅片膜厚测量系统。具体地,本发明的片状体交接装置包括上片手、下片手、驱动装置和交接支座;其中,所述上片手和所述下片手与所述驱动装置的输出轴直接或间接固定联接,并且所述上片手...
吴火亮
运动台
1.本外观设计产品的名称:运动台。;2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品用于精密定位平台。;3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。;4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。
吴火亮
江旭初
董亚聪
压电陶瓷致动器
本发明公开了一种压电陶瓷致动器。本发明中,压电陶瓷致动器包括:外壳,外壳内具有至少一端开口的放置腔;第一偏压件,设置在放置腔内,且第一偏压件与外壳的内底面相对设置;以及,陶瓷压电组件,陶瓷压电组件包括设置在放置腔内的压电...
左蕾
黄孝山
王振华
许良
文献传递
二维拾取模组
1.本外观设计产品的名称:二维拾取模组。;2.本外观设计产品的用途:用于拾取物品的二维模组。;3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。;4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。
殷小博
一种压电惯性驱动模块
本发明涉及驱动技术领域,公开一种压电惯性驱动模块,压电陶瓷叠堆、第一惯性质量块组均位于压电惯性驱动模块的中心轴上,第一摩擦头的设置位置、第二摩擦头的设置位置关于压电惯性驱动模块的中心轴对称,实现整个压电惯性驱动模块为对称...
朱凯
王振华
孙源
陈椿元
刘如德
文献传递
一种六自由度微动装置及电子束装备
本发明涉及集成电路装备制造技术领域,公开一种六自由度微动装置及电子束装备。微动装置包括硅片承载台、运动组件、固定组件和驱动组件,运动组件包括运动板和上磁屏蔽结构;固定组件包括连接板和下磁屏蔽结构,下磁屏蔽结构与上磁屏蔽结...
胡兵
江旭初
蒋赟
文献传递
电机定子装置和真空电机
本发明提供了一种电机定子装置和真空电机,电机定子装置包括线圈组件、第一壳体、第二壳体和冷却管路组件,第一壳体与第二壳体盖合形成容纳腔体;线圈组件包括至少一个线圈单元,线圈单元固定设置于容纳腔体内;第一壳体的内底部和/或第...
彭仁强
伏兆娣
胡兵
夏禹
郭兴
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