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芝浦机械电子株式会社
作品数:
371
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相关机构:
株式会社东芝
氯工程株式会社
东芝存储器株式会社
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相关领域:
电子电信
文化科学
自动化与计算机技术
轻工技术与工程
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合作机构
株式会社东芝
氯工程株式会社
东芝存储器株式会社
夏普株式会社
科发伦材料株式会社
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371篇
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电子电信
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文化科学
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机构
371篇
芝浦机械电子...
21篇
株式会社东芝
10篇
氯工程株式会...
7篇
东芝存储器株...
3篇
科发伦材料株...
3篇
夏普株式会社
2篇
培尔梅烈克电...
2篇
中兴化成工业...
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1篇
东芝陶瓷株式...
1篇
索尼信息技术...
年份
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2023
16篇
2022
24篇
2021
21篇
2020
13篇
2019
25篇
2018
23篇
2017
15篇
2016
20篇
2015
17篇
2014
14篇
2013
30篇
2012
34篇
2011
26篇
2010
22篇
2009
18篇
2008
14篇
2007
11篇
2006
5篇
2005
共
371
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基板处理装置及基板处理方法
本发明提供一种基板处理装置(10),其是对半导体晶圆(W)的被洗涤面(Wa)进行洗涤的基板处理装置(10),其具备:能够保持半导体晶圆(W)的旋转夹头(21)、与保持于旋转夹头(21)上的半导体晶圆(W)的被洗涤面(Wa...
滨田崇广
林航之介
长岛裕次
神山洋辉
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基板处理装置以及基板处理方法
实施方式涉及的基板处理装置(1)具备:支撑基板W的工作台(4);向该工作台(4)上的基板W的表面供给挥发性溶剂的溶剂供给部(8);对供给有挥发性溶剂的基板W照射光,并作为对基板W进行加热以使在供给有该挥发性溶剂的基板W的...
宫崎邦浩
林航之介
大田垣崇
长岛裕次
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基板的处理装置
本发明提供一种处理装置,可容易进行设有输送基板的驱动辊的驱动轴的组装。处理装置具有:处理腔(12);多个支承辊(14),可旋转,沿基板的输送方向及与输送方向交叉的上下方向设置在处理腔中,并支承基板的倾斜方向的下侧的面;多...
广濑治道
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电子部件的安装装置和安装方法
本发明提供一种电子部件的安装装置和安装方法。该电子部件的安装装置包括:第一摄像机(43)、第二摄像机(44),在通过转台(4)将被输送到安装位置的TCP(3)安装在面板(1)上时,对面板和TCP进行摄像;图像处理装置,在...
南浜悦郎
广濑圭刚
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基板处理装置
本发明抑制处理液在基板面的再附着,提高基板品质。基板处理装置具备:旋转台,使基板旋转;和多个固定部件,与基板的外周抵接而把持基板,将基板固定于旋转台,在从旋转台的旋转轴方向观察时,固定部件在与基板抵接的一侧具有曲面,固定...
滨田崇广
山崎修
基板的处理装置以及处理方法
一种基板的处理装置,通过处理液来处理基板,其特征在于,具备:纳米气泡产生机构,用于产生纳米气泡,并使该纳米气泡与上述处理液混合;处理液供给机构,向上述基板的板面供给含有该纳米气泡产生机构所产生的纳米气泡的上述处理液;以及...
矶明典
西部幸伸
藤森康朝
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基板的处理装置以及处理方法
本发明提供了一种基板的处理装置,可以使腔内的气体相对该腔的宽度方向和长度方向均匀地排出。该装置具有装置主体(1)、传送辊(17)、主排气通道(6)以及多个分支排气通道(8),其中装置主体(1)形成用处理液进行处理的腔(5...
末吉秀树
矶明典
丰岛范夫
广濑治道
高木慎一郎
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基板的处理装置以及处理方法
本发明提供了一种基板的处理装置,可以使腔内的气体相对该腔的宽度方向和长度方向均匀地排出。该装置具有装置主体(1)、传送辊(17)、主排气通道(6)以及多个分支排气通道(8),其中装置主体(1)形成用处理液进行处理的腔(5...
末吉秀树
矶明典
丰岛范夫
广濑治道
高木慎一郎
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基板处理装置
本发明的目的是提供一种能够缩短在基板处理中花费的整体时间的基板处理装置。有关实施方式的基板处理装置(1)具备:多个夹紧部(3d),设置为以基板旋转轴(A1)为中心与旋转板(3c)一起旋转,以各个销旋转轴(A2)为中心旋转...
古矢正明
基板的处理装置及处理方法
本发明提供一种能用被加热到规定的温度的剥离液均匀地加热被倾斜输送的基板进行处理的基板的处理装置。这是一种利用加热至规定温度的处理液对被输送基板的表面进行处理的基板的处理装置,包括:以规定的角度使表面呈倾斜方向上侧而倾斜地...
植木慎介
西部幸伸
矶明典
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