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天津中环领先材料技术有限公司

作品数：536 被引量：0H指数：0
相关机构：中环领先半导体材料有限公司苏州晶瑞化学有限公司工业和信息化部电子工业标准化研究院更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术语言文字文化科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 488篇专利
  • 18篇会议论文
  • 18篇标准
  • 10篇期刊文章

领域

  • 48篇电子电信
  • 23篇自动化与计算...
  • 14篇语言文字
  • 8篇经济管理
  • 8篇文化科学
  • 5篇金属学及工艺
  • 5篇医药卫生
  • 4篇交通运输工程
  • 3篇化学工程
  • 3篇电气工程
  • 3篇建筑科学
  • 3篇轻工技术与工...
  • 3篇环境科学与工...
  • 2篇机械工程
  • 2篇自然科学总论
  • 2篇理学
  • 1篇矿业工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇核科学技术
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 202篇硅片
  • 91篇晶圆
  • 85篇抛光
  • 84篇单晶
  • 69篇圆片
  • 67篇硅片表面
  • 65篇抛光片
  • 54篇晶圆片
  • 49篇区熔
  • 49篇半导体
  • 33篇单晶硅
  • 31篇硅晶
  • 30篇硅晶圆
  • 27篇硅片清洗
  • 25篇抛光工艺
  • 21篇清洗机
  • 20篇酸腐蚀
  • 17篇多晶
  • 17篇机械手
  • 14篇抛光垫

机构

  • 534篇天津中环领先...
  • 245篇中环领先半导...
  • 15篇苏州晶瑞化学...
  • 14篇工业和信息化...
  • 3篇义柏科技(深...
  • 2篇中国电子技术...
  • 2篇洛阳鸿泰半导...
  • 1篇中国科学院
  • 1篇有色金属技术...
  • 1篇杭州海纳半导...
  • 1篇浙江海纳半导...
  • 1篇天津环鑫科技...
  • 1篇山东有研半导...
  • 1篇有研半导体材...
  • 1篇合肥晶桥光电...
  • 1篇合肥中南光电...
  • 1篇浙江金瑞泓科...

传媒

  • 5篇环球市场
  • 3篇第二十五届中...
  • 1篇机车电传动
  • 1篇集成电路应用
  • 1篇理财周刊
  • 1篇中国科技期刊...
  • 1篇中文科技期刊...
  • 1篇天津市电视技...

年份

  • 9篇2025
  • 56篇2024
  • 44篇2023
  • 47篇2022
  • 104篇2021
  • 66篇2020
  • 61篇2019
  • 10篇2018
  • 5篇2017
  • 9篇2016
  • 45篇2015
  • 21篇2014
  • 25篇2013
  • 11篇2012
  • 19篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2006
共 536 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手
本实用新型提供一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手，包括：机械手本体；翻转装置，设置在所述机械手本体上，控制所述机械手翻转；清洁装置，设置在所述机械手本体上，清洁所述机械手本体；吸附装置，设置在所述机械手本体上，吸...
周迎朝由佰玲邓春星原宇乐董楠武卫刘建伟刘园孙晨光王彦君祝斌刘姣龙裴坤羽常雪岩杨春雪谢艳袁祥龙张宏杰刘秒吕莹徐荣清
一种在单晶硅晶圆上实现高速率沉积SiO<Sub>2</Sub>薄膜的背封工艺
本发明涉及一种在单晶硅晶圆上实现高速率沉积SiO<Sub>2</Sub>薄膜的背封工艺，通过增大气体流量的方式增大反应气体的压强，使反应腔室内反应气体的浓度增加，反应产物SiO<Sub>2</Sub>的浓度相应增加,通过...
刘建伟齐呈跃黄建国李家友
文献传递
一种磨片清洗工艺
本申请提供一种磨片清洗工艺，步骤包括：对研磨后的硅片先进行预清洗，再对预清洗后的硅片进行碱液清洗；其中，所述碱液清洗时所用的药液为弱碱性清洗剂。本申请一种磨片清洗工艺，适合各种类型产品的清洗，清洗效果好且质量高，避免多种...
白玉麟段立群孙希凯东士博刘建伟谭永麟孙晨光王彦君
硅片表面金属离子测试装置
本发明提供一种硅片表面金属离子测试装置，包括提取装置、旋转工作台和控制装置，所述提取装置包括真空泵、真空管和提取枪，所述提取枪包括通过管路连接的扫描液存放腔和工作室，所述扫描液存放腔位于所述工作室上方，所述真空泵通过真空...
吕莹张晋英张宇刘琦李翔
文献传递
一种硅片清洗装置
本实用新型提供一种硅片清洗装置，包括清洗部一和清洗部二，其中，所述清洗部一和所述清洗部二均设有：转台，其与硅片边缘接触，用于控制硅片旋转并使硅片悬置；喷淋组，其置于硅片两侧表面，用于对硅片双侧表面进行喷淋；所述清洗部一中...
刘园袁祥龙赵洋武卫刘建伟祝斌刘姣龙裴坤羽孙晨光王彦君张宏杰由佰玲常雪岩杨春雪谢艳刘秒吕莹徐荣清
一种提高区熔真空泵利用率的装置及方法
本发明提供了一种提高区熔真空泵利用率的装置及方法，包括至少三台单晶炉，每台所述单晶炉出口连接管路，所述管路并联汇合至与真空泵管路连通，所述真空泵管路的另一端连接真空泵，所述管路与所述单晶炉之间通过第一波纹管连接，每个所述...
张志富李伟凡郝大维边智学刘愿郭宝川
一种IGBT用8英寸硅抛光片表面金属离子含量的测试方法
本发明涉及一种IGBT用8英寸硅抛光片表面金属离子含量的测试方法，该方法利用KoreaExpert公司生产的全自动VPD前处理设备，配合Agilent公司Agilent7700系列电感耦合等离子体质谱仪对8英寸抛光片的表...
吴晓明吕莹王国瑞张晋英
文献传递
晶圆片架
本实用新型涉及晶圆片架；晶圆片架包括片架本体以及装载组件；所述片架本体包括收容晶圆的容置腔；所述装载组件包括一端设有第一开口且呈管状的容置结构，所述容置结构设置于所述片架本体上，且所述容置结构内设形成容纳腔，用于收容棒式...
邱摩西刘汝拯陈松平何江波
一种硅片抛光用暂存放置系统
一种硅片抛光用暂存放置系统，包括用于放置待抛光硅片的上载暂存机构；用于放置抛光后硅片的下载暂存机构；以及用于驱动上载暂存机构和下载暂存机构旋转，并向置于上载暂存机构或下载暂存机构上硅片的非抛光面进行喷淋的驱动清洗机构；其...
袁祥龙 刘园 武卫 刘建伟 由佰玲 孙晨光 王彦君 常雪岩 裴坤羽 祝斌 刘姣龙 张宏杰 谢艳 杨春雪 刘秒 吕莹 徐荣清
一种贴片机防飘片检测装置
本实用新型提供了一种贴片机防飘片检测装置，包括陶瓷盘、贴片机和图像采集单元，陶瓷盘上表面形成用于放置硅片的放置区，贴片机设置在陶瓷盘的上方，用于向陶瓷盘上放置硅片；图像采集单元包括摄像头和图像处理系统，摄像头设置在陶瓷盘...
张晋英安爱博许普增刘子申严政先赵欣郭会波孙晨光王彦君
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