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深圳新南亚技术开发有限公司

作品数:31 被引量:15H指数:2
相关机构:深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心更多>>
发文基金:深圳市科技计划项目国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:一般工业技术理学电子电信更多>>

文献类型

  • 24篇专利
  • 7篇期刊文章

领域

  • 6篇一般工业技术
  • 2篇电子电信
  • 2篇理学

主题

  • 14篇镀膜
  • 8篇靶材
  • 5篇溅射
  • 4篇片架
  • 4篇传动
  • 4篇磁铁
  • 3篇镀膜设备
  • 3篇真空镀膜
  • 3篇门阀
  • 3篇传动装置
  • 3篇磁控
  • 2篇导轨
  • 2篇电场
  • 2篇镀膜工艺
  • 2篇阳极
  • 2篇阳极板
  • 2篇阴极
  • 2篇智能化
  • 2篇金属
  • 2篇可调节

机构

  • 31篇深圳新南亚技...
  • 1篇深圳国家86...

传媒

  • 4篇真空
  • 1篇真空与低温
  • 1篇现代显示
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 2篇2019
  • 2篇2018
  • 4篇2017
  • 4篇2016
  • 4篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
  • 3篇2011
  • 4篇2010
  • 1篇2009
  • 2篇2007
  • 1篇2006
31 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
防绕射基片架
本实用新型涉及一种防绕射基片架,用于夹持玻璃基片进行镀膜,该防绕射基片架包括基片架底座、框式的支架、长条形的上背板和下背板、长条形的上装片架和下装片架、弹压簧片和用于夹持玻璃的夹具,基片架底座上部与支架固定连接,长条形的...
黄启耀陈强王克斌姜翠宁吴细标
文献传递
一种可调节挡板缝隙宽度的ITO导电玻璃的镀膜装置
本实用新型公开了一种可调节挡板缝隙宽度的ITO导电玻璃的镀膜装置,所述液体箱的底部通过导管连接有喷管,所述喷管的底部设有喷嘴,所述支撑架的内侧安转有印刷滚筒,所述支撑架的右侧上部安装有横支架,所述横支架的内侧安装有第一滚...
闫都伦唐贵民王克斌
文献传递
Aristo800设备腔体内部中间加热装置改造经验分享
2017年
针对Aristo800连续镀膜线主腔室的中间加热装置由于高温变形造成基片车被卡住的现象,通过长期的观察和分析,我们对加热装置两边的挡板,从材质的改变到结构形状的改变,经过不断试验、反复改进、最终彻底解决了长期困扰此类镀膜线的基片车运行被卡住的顽疾。本文将自己对于该设备的改造经验加以总结供同行分享。
王琦杨兵华
一种提高磁控溅射靶材利用率的结构
本实用新型公开了一种提高磁控溅射靶材利用率的结构,包括伺服电机、丝杠、磁铁板、丝杠螺母、磁铁组和靶材,所述靶材的背面设置磁铁组,磁铁组固连在磁铁板上,从而构成磁控溅射靶材结构,所述磁铁板的背面固连丝杠螺母,丝杠螺母连接丝...
闫都伦王克斌吴细标唐贵民
文献传递
一种真空溅射镀膜装置
本实用新型公开了一种真空溅射镀膜装置,包括真空腔、阳极、进气口、传递辊、阴极靶材和阴极,所述真空腔由上半部的U形阴极盖板和下半部的U形阳极板框连接而成,所述阴极盖板的内侧通过螺栓安装有连接钢板,连接钢板的内侧焊接有不锈钢...
闫都伦王克斌吴细标唐贵民
文献传递
一种能控制电场强度的溅射镀膜装置
本实用新型公开了一种能控制电场强度的溅射镀膜装置,包括支撑脚、散热扇和计时装置,所述支撑脚的上方设有镀膜控制台,所述散热扇嵌入安装在镀膜控制台的左侧,且散热扇的右侧设有混合气体罐,所述混合气体罐的上方设有真空泵,所述镀膜...
闫都伦唐贵民王克斌
文献传递
一种增加智能触控的玻璃贴
本实用新型公开了一种增加智能触控的玻璃贴,包括玻璃贴本体,所述玻璃贴本体上镀有一层ITO透明导电膜,所述玻璃贴本体的上方和下方设有圆点区域,所述圆点区域之间通过ITO导电薄膜连通。该增加智能触控的玻璃贴不需要进行更改程序...
闫都伦王克斌杨兵华刘达俊唐贵民
文献传递
一种回收锡的装置
本实用新型公开了一种用于从金属靶材上回收锡的装置,由设置有加热炉门的密闭的加热炉箱体构成,所述加热箱体的中部设置有一隔网,隔网的下面设置有加热组件;所述加热组件由两个以上的加热盘相互倾斜呈漏斗状构成;所述加热盘相互交接的...
唐贵民田晓智王克斌胡伟华吴细标
文献传递
射频电源有关问题的探讨被引量:6
2007年
在射频溅射镀膜中,射频电源的反射功率偏大和靶打火一直是困扰行业的问题,本文从理论上说明射频系统和网络匹配问题,并结合实际和试验,讨论如何降低反射功率和减少靶打火的问题,并提供解决问题的相关资料,以资说明。
黄启耀姜翠宁
关键词:射频反射功率打火
一种抛光后清洗用鼓泡装置
本实用新型公开了一种抛光后清洗用鼓泡装置,包括通气圆管、出气孔、进气口、压缩空气管、活动盖,所述通气圆管构成鼓泡装置整体结构,通气圆管均匀设有出气孔,所述压缩空气管通过进气口与通气圆管连接;所述活动盖通过倒钩结构固定在通...
闫都伦王旻杰旷玉林王克斌唐贵民
文献传递
共4页<1234>
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