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上海昕通半导体设备有限公司

作品数：14 被引量：0H指数：0
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合作机构

文献类型

  • 14篇中文专利

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 5篇气体
  • 4篇钢瓶
  • 3篇连接方式
  • 3篇化学品
  • 3篇阀门
  • 2篇电池
  • 2篇电介质
  • 2篇电缆
  • 2篇电容传感器
  • 2篇信号电缆
  • 2篇药液
  • 2篇石英
  • 2篇特殊化学品
  • 2篇特种气体
  • 2篇气瓶
  • 2篇内胆
  • 2篇介质
  • 2篇集中控制
  • 2篇非接触
  • 2篇非接触式

机构

  • 14篇上海昕通半导...
  • 13篇上海亿欣电子...
  • 13篇上海正帆科技...

年份

  • 4篇2011
  • 10篇2010
共 14 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种特殊化学品的安全输送装置
本发明提供了一种特殊化学品的安全输送装置，包括外壳及其上盖，外壳分为上下两部分，外壳的上下两部分之间以及外壳与上盖之间皆设有密封装置，其特征在于，外壳的内侧设有缓冲装置，缓冲装置内侧设有石英内胆，石英内胆的上部分设于外壳...
李东升曾庆腾张敏
特种气体钢瓶的自动防呆装置
本实用新型涉及一种特种气体钢瓶的自动防呆装置，其特征在于，包括固定在特种气体钢瓶上的气缸，气缸连接气体钢瓶柜控制系统，气缸的气缸杆连接钢瓶出口锁定装置。本实用新型的优点是：气体钢瓶柜控制系统驱动防呆装置，确保供气过程中系...
于锋李东升张敏
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液体化学品输送集中控制独立输液装置
本实用新型涉及一种液体化学品输送集中控制独立输液装置，包括控制单元和供液设备单元，所述的控制单元包括通过电器元件相互连接的中央可编程控制器(PLC)和侦测感应系统，供液设备单元包括通过气动阀门(2)相互连接的气动隔膜泵(...
高珊珊
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一种硅烷气体转移装置
本实用新型提供了一种硅烷气体转移装置，其特征在于，包括第一氮气瓶及第二氮气瓶，第一氮气瓶通过第一调压阀连接真空发生器，真空发生器的一端连接废气收集器，另一端通过手动阀管路连接硅烷气体接收瓶及硅烷气体泄漏瓶，第二氮气瓶通过...
曾庆腾李东升
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非接触式电容液位计
本实用新型提供了一种非接触式高精度电容液位计，其特征在于，包括至少两个电容传感器，即第一电容传感器及第二电容传感器，第一电容传感器及第二电容传感器的一端连接传送器，另一端分别设于底部密封的第一套管及第二套管内，第一套管及...
缪南山李东升龚小雷张敏
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一种三层式管道加热块
本实用新型涉及一种三层式管道加热块，包括加热铝块，导热硅胶，气体管路及相应电器控制盒，所述的加热铝块与温度传感器组成闭环控制，所述的加热铝块包括左部加热铝块(1)、中部加热铝块(3)、右部加热铝块(5)之间有气体管路，中...
于锋金悦
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带自动吹扫的钯管氢气纯化器
本实用新型涉及一种带自动吹扫的钯管氢气纯化器，该纯化器由阀门V1-V10；纯化器，热交换器，流量计，单向阀及附带的控制系统组成。本实用新型通过阀门的组合开关分别实现在正常纯化过程中，在断电或其他紧急状况，在维护状态各种不...
于锋
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晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统及方法
本发明涉及一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统及方法，其输液管路(1)与储液箱(2)相连，储液箱(2)、泵(5)、至少3个反应槽(8)、储液箱(2)依次相连形成循环回路，所述的储液箱(2)依次通过泵(5)、手动...
严俊李敏
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晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统
本实用新型涉及一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统，其输液管路(1)与储液箱(2)相连，储液箱(2)、泵(5)、至少3个反应槽(8)、储液箱(2)依次相连形成循环回路，所述的储液箱(2)依次通过泵(5)、手动阀...
严俊李敏
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多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统
本实用新型涉及一种多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统，包括气瓶柜、吹扫系统和气动控制管路，其特征在于：所述的气瓶柜至少为2个，所述的吹扫系统为分别与每个气瓶柜相连的独立输送吹扫装置，所述的气瓶柜通过气动控制管路和独立输送...
金悦
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