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塔斯米特株式会社

作品数：15 被引量：0H指数：0
相关机构：东丽工程株式会社更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作机构

文献类型

  • 15篇中文专利

领域

  • 12篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 9篇图案
  • 7篇图像
  • 6篇扫描电子显微...
  • 5篇设计数据
  • 3篇电子束
  • 3篇晶片
  • 2篇正线
  • 2篇特征量
  • 2篇匹配方法
  • 2篇邻接
  • 2篇介质
  • 2篇晶圆
  • 2篇计算机
  • 2篇记录介质
  • 2篇半导体
  • 2篇边缘检测
  • 1篇电子光学
  • 1篇电子光学系统
  • 1篇电子能
  • 1篇电子能谱

机构

  • 15篇塔斯米特株式...
  • 2篇东丽工程株式...

年份

  • 4篇2023
  • 5篇2022
  • 2篇2021
  • 4篇2020
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
图案测量方法
本发明涉及一种自动确定形成在晶圆、掩模、面板、基板等工件上的图案的尺寸等特征量的测量方案的方法。本方法基于在设计数据中定义的坐标系上的测量点(111)和CAD图案(101)的相对位置、以及CAD图案(101)的面积，确定...
中泽伸一
扫描电子显微镜
本发明涉及以电子束扫描晶圆、掩膜、面板、基板等工件而生成该工件的图像的扫描电子显微镜。本发明的扫描电子显微镜具备：偏转器(17、18)，它们使电子束偏转而以电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制部(22)，...
齐藤尚也久保田大辅
扫描电子显微镜的自动对焦方法
本发明涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(1...
久保田大辅
文献传递
晶片保持装置
提供晶片保持装置，在对容易产生翘曲或变形的晶片进行保持时，即使在仅允许该晶片的外周下部的一部分接触的情况下，也能够以期望的姿势可靠地进行保持。具体而言，晶片保持装置以水平状态接收晶片并以规定的姿势进行保持，其特征在于，该...
竹岛诚久保祐辉冈浩平西川修二
图像生成方法
本发明涉及一种图像生成方法，该图像生成方法选择存在具有比阈值高的唯一性值的图案的剪辑区域(C1)，确定存在于选择的剪辑区域(C1)内的特定点，即第1特定点(P1)，由扫描电子显微镜生成通过确定的第1特定点(P1)的坐标所...
丸山浩太郎
图案边缘检测方法
本发明涉及一种能够应用于使用图案的设计数据来进行图案检查的半导体检查装置的图案边缘检测方法。在本方法中，生成图案的图像，基于根据图案的设计数据生成的基准图案来检测图像上的图案的边缘，重复进行图案的图像的生成与图像上的图案...
大家政洋
文献传递
一种生成校正线的方法和装置以及计算机可读记录介质
本方法是一种生成表示晶片图案的边缘与基准图案的边缘的偏离量和与所述基准图案的边缘邻接的空间的宽度的关系的校正线的方法，包括如下工序：制作与处于所指定的区域内的基准图案邻接的空间的宽度的出现频率图，获取与在所述出现频率图中...
金子功次
文献传递
测定背散射电子能谱的装置及方法
本发明涉及用于分析从试样产生的背散射电子的能量的装置及方法。该装置包括：电子束源(101)，其用于产生一次电子束；电子光学系统(102、105、112)，其使一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测...
嘉藤诚佐佐木澄夫田中幸浩山崎裕一郎
文献传递
图像匹配方法以及用于执行图像匹配处理的运算系统
本发明涉及用于进行设计数据上的图案与图像上的图案的对位的图像匹配处理，特别涉及使用通过机器学习构建的模型的图像匹配处理。本方法将设计数据上的指定的CAD图案转换为CAD图像(301)，将CAD图像(301)输入到通过机器...
森泰平
文献传递
生成表示晶片图案的边缘与基准图案的边缘的偏离量和基准图案的空间宽度的关系的校正线的方法和装置以及计算机可读记录介质
本方法是一种生成表示晶片图案的边缘与基准图案的边缘的偏离量和与所述基准图案的边缘邻接的空间的宽度的关系的校正线的方法，包括如下工序：制作与处于所指定的区域内的基准图案邻接的空间的宽度的出现频率图，获取与在所述出现频率图中...
金子功次
文献传递
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共2页<12>
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