西安工业学院光电工程学院光电科学与工程系
- 作品数：36 被引量：210H指数：10
- 相关作者：强西林任海霞陈伟杨翠萍杨东升更多>>
- 相关机构：西安交通大学电气工程学院西北大学物理学系中国科学院西安光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：陕西省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程化学工程更多>>
- 脉冲离子源所镀膜层厚度分布曲线的测量被引量：2
- 2002年
- 为了解决大面积类金刚石薄膜的均匀性,首先要研究脉冲离子源所镀制的类金刚石薄膜的厚度分布曲线。针对这一目的,做了大量工艺实验,在不同的脉冲离子源电源参数(主回路电压,脉冲频率)、基片高度以及磁场等工艺参数下制备了样品,并选择了一种合适的膜厚测量仪器进行了膜厚分布测量,获得了在各种工艺参数下脉冲离子源所镀膜层厚度的分布曲线。
- 蔡长龙王季梅李刚杭凌侠徐均琪严一心
- 脉冲真空电弧离子源工艺参数对薄膜厚度分布的影响被引量：1
- 2002年
- 薄膜厚度的均匀性是影响沉积方法应用的一个重要的因素，利用脉冲真空电弧离子镀技术在Si基片上沉积山类金刚石薄膜，采用轮廓仪对膜的厚度进行了测量，研究服不同工艺参数对薄膜均匀性的影响。实验结果表明：脉冲离子源阴极和基片的距离，主回路工作电压以及沉积频率对薄膜均匀性有不同程度的影响。根据分析结果，找出最佳工艺参数，通过比较两种离子源的结果表明，离子源结构对其镀膜均匀性有较大的影响。
- 李刚蔡长龙等
- 关键词：离子源工艺参数
- Ti-Ni合金上镀制类金刚石薄膜研究被引量：2
- 2003年
- 利用脉冲真空电弧离子镀技术在Ti＿Ni形状记忆合金上成功地镀制了类金刚石薄膜,测试了膜层的电阻率,进行了Raman散射和扫描电镜(SEM)分析,并对两种工艺方法的优劣进行了比较.
- 吴玲玲徐昌杰蔡长龙严一心
- 关键词：TI-NI合金类金刚石薄膜
- 脉冲真空电弧离子镀发射特性的测量
- 通过大量工艺实验,镀制了改变脉冲真空电弧离子源电源参数(主回路电压,脉冲频率)、基片高度以及磁场等工艺参数的样品,选择了一种合适的膜厚测量仪器进行了膜厚分布测量,获得了离子源各种工艺参数对其发射特性影响的曲线.
- 蔡长龙杭凌侠李刚徐均琪严一心朱昌
- 关键词：离子源
- 文献传递
- 光学薄膜厚度监控——极值点判断方法研究被引量：10
- 2001年
- 提出了一种计算机自动判读极值点的方法 .利用此方法可以在光学薄膜厚度监控过程中 ,实现计算机对规整λ/4膜系膜层厚度的自动监控 .此方法具有监控精度高。
- 韩军弥谦杨晓军
- 关键词：自动监控薄膜厚度极值点光学薄膜计算机
- 光学平行平板厚度的无损测量
- 2003年
- 本文介绍了一种用麦克尔逊干涉原理对光学平行平板厚度进行无损测量的测量装置,详细阐述了其原理和测量步骤,零位的标定和精度的分析。有较强的实用性。
- 黄钉劲徐昌杰
- 关键词：厚度
- 霍尔无栅离子源的离子束性能测试被引量：2
- 2002年
- 介绍了一种新型离子源———霍尔无栅离子源 ,并论述了其工作原理 .这种源不仅具有大束流、低能量和大辐照面积等优点 ,而且克服了现有的有栅离子源的技术局限性 .实验结果证明 ,霍尔无栅离子源的离子流分布均匀性较好 ,离子束能量在 30～ 12
- 秦君军朱昌潘永强陈智利杭凌侠
- 便携式甲烷吸收浓度红外测试仪的电路设计被引量：2
- 2001年
- 介绍了一种基于红外光谱吸收原理 ,采用双光路瞬时比较测量方法实现对甲烷浓度测试的便携式仪器的电路设计 .电路主要由探测器系统、信号放大与处理系统及数据处理与显示系统三部分组成 .
- 权贵秦刘怡
- 关键词：甲烷测试仪器电路设计气体
- 系统阻尼对冲击法测量磁场的影响被引量：2
- 2003年
- 本文分析了系统阻尼对冲击常数测量的影响,指出通过测量冲击常数的相对误差,选择合适的系统阻尼,是提高系统测量精度的有效方法。
- 董威周仁魁
- 关键词：系统阻尼冲击法磁场测量
- 利用迈克尔逊干涉仪测量光学球面的曲率半径被引量：8
- 2002年
- 提出了一种光学球面曲率半径的无损测量方法 .它利用麦克尔逊干涉仪的白光干涉零级暗条纹测出平面与被测球面相交的圆直径及相应的矢高值后 ,便可求得球面曲率半径 .测量过程中无测量力的影响 ,也不会损坏被测件表面 ,而且测量时对被测件安装定位无特殊要求 ,误差环节少 。
- 徐昌杰潘永强
- 关键词：迈克尔逊干涉仪曲率半径光学测量
