大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性教育部重点实验室
- 作品数：62 被引量：213H指数：8
- 相关作者：范昭奇马雪杨亮毛明丁安邦更多>>
- 相关机构：吉林大学电子科学与工程学院吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室内蒙古民族大学化学化工学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术核科学技术更多>>
- 中频脉冲磁控溅射沉积氮化铝薄膜及性能研究
- 氮化铝薄膜在力学、光学、声学等领域有着广泛的应用前景.研究沉积条件对氮化铝薄膜的结构、性能的影响具有重要意义. 采用纯铝溅射靶、在不同的N2流量比率条件下,采用中频脉冲磁控溅射在Si(001)衬底上制备出氮化铝薄膜.利用...
- 牟宗信刘升光王振伟公发权贾莉牟晓东
- 关键词：氮化铝薄膜磁控溅射微观结构表面形貌折射率
- 文献传递
- ZnO p-n结制备及其电注入发光
- 我们采用自行设计的等离子体增强MOCVD系统,利用经特殊设计的反应室,以二乙基锌(DEZn)和O2作为锌源和氧源,分别通过几种途径,获得了p-ZnO薄膜.并且在此基础上,初步制备了ZnO的同质结器件,并观测到了电致发光.
- 杜国同杨天鹏朱慧超李香萍梁红伟刘维峰胡礼中孙景昌边继明张宝林马艳崔勇国
- 关键词：金属有机化学气相沉积ZNO薄膜电致发光二乙基锌
- 文献传递
- MOCVD法制备ZnO薄膜的正交试验设计被引量：3
- 2008年
- 采用低压-金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,结合正交试验设计,在(100)p-Si衬底上制备了高质量的ZnO薄膜。用室温光致发光研究了不同生长参数对ZnO薄膜光学质量的影响。通过正交分析法对所得样品相关特征指标的分析,得到生长温度、锌源温度和氧气流量3个独立工艺参数对薄膜光学质量的影响。结果表明,生长温度对薄膜光学质量的影响最大,其余依次为氧气流量和锌源温度,同时,通过分析还得到了最佳组合工艺。结合面探X射线衍射仪,分析了薄膜的结晶质量,发现在优化的工艺条件下制备出的ZnO薄膜具有较好的结晶质量。
- 李香萍张宝林申人升董鑫杜国同
- 关键词：金属有机化学气相沉积正交试验设计氧化锌
- 超声喷雾热解法生长氧化锌同质p-n结及其电致发光性能研究被引量：7
- 2007年
- 采用超声喷雾热解法在单晶GaAs(100)衬底上生长ZnO同质p-n结．以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,通过氮-铟(N-In)共掺杂沉积p型ZnO薄膜,以未故意掺杂的ZnO薄膜做为n型层获得ZnO基同质p-n结．采用热蒸发工艺在ZnO层和GaAs衬底上分别蒸镀Zn／Au和Au／Ge／Ni电极而获得发光二极管原型器件,在室温下发现了该器件正向电流注入下的连续发光现象．
- 边继明刘维峰胡礼中梁红伟
- 关键词：ZNO薄膜电致发光
- 可持续发展在构建和谐社会中的作用
- 2008年
- 文章介绍了可持续发展这一理论的提出、研究现状及其深层含义,从而使人们对可持续发展这一战略思想有更深刻的认识。可持续发展要求实现人与自然的和谐,个人与社会的和谐。可持续发展是构建和谐社会的基础,和谐社会又能促进可持续发展。
- 樊翠香夏道鹏刘立峰马云夏道成
- 关键词：可持续发展和谐社会
- 第一性原理研究H3,H3+,H3-势能面和氢团簇亲和能
- 高亮丁洪斌
- 放电参数对不同频率驱动的容性耦合氩等离子体影响的研究被引量：2
- 2011年
- 研究了不同放电参数(功率、气压、频率)下容性耦合氩等离子体中电子温度以及电子密度的变化规律.电子温度和电子密度的测量由双探针诊断获得,而功率电极自偏压则由示波器测量得到.实验结果表明,不同驱动频率下,电子温度随功率上升明显降低直至达到稳定值,而随着驱动频率和气压的上升,电子与周围粒子碰撞加剧,从而导致电子温度降低.低功率时,电子密度呈现出类抛物线增长,高功率时,电子密度则线性增加.随着气压的上升,电子密度呈现先上升后略有下降的趋势.此外,当驱动频率由13.56MHz增加到60MHz时,观察到电子密度与驱动频率的成二次方的依赖关系.自偏压的测量结果表明,自偏压随着放电功率增大而增大,而当气压和驱动频率上升时,自偏压反而降低.
- 徐海朋张杰陆文琪辛煜
- 关键词：电子温度电子密度
- 正、负三角形变等离子体位形对托卡马克中理想外扭曲模稳定性影响的对比研究
- 数值研究了理想壁/电阻壁、漂移动理学效应以及环向等离子体旋转对有强负三角形变(NTR)的等离子体位形的托卡马克中理想外扭曲模式稳定性的影响。同时对有相似平衡的正三角形变(PTR)等离子体位形进行了对比研究。研究发现,理想...
- 任静刘悦
- 光辅助对MOCVD法制备ZnO薄膜性能的影响被引量：8
- 2008年
- 采用光辅助金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在(0001)蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜。通过X射线衍射、透射光谱和霍尔测试等研究了光照对MOCVD法制备的ZnO薄膜的影响。实验结果表明,引入光辅助后制备的ZnO薄膜,其结晶质量和光学质量均得到改善。分析认为,这主要是由于光辅助有助于提高锌有机源的分解效率,并且高能量的光子可为反应吸附的原子提供足够高的激活能,从而易于其迁移到合适的晶格位置所致。同时我们还发现,有光照和无光照条件下制备的ZnO薄膜均呈n型导电,但有光照条件下制备的ZnO薄膜具有更低的本底载流子浓度,这将为日后通过降低自补偿实现p型掺杂提供一个很好的解决办法。
- 李香萍张宝林董鑫张源涛夏晓川赵磊赵旺马艳杜国同
- 关键词：氧化锌薄膜光学特性
- 低压气体放电特性平台设计及实验技巧分析被引量：4
- 2017年
- 设计了低气压气体放电等离子体综合实验平台,利用该平台可以开展气体直流击穿特性、气体放电伏安特性和等离子体基本参数静电探针诊断等系列实验项目的演示和教学。针对气体击穿特性实验平台的设计和实验方法,结合开展低气压气体直流击穿特性实验教学内容,介绍了平台的设计技巧、实验教学所需准备、课堂组织和实验技巧,分析了教学实施过程遇到的问题,提出了解决方案。教学实践表明,安全问题、气体击穿临界点的判定、首次测量气压点的选择、实验数据点的分布与拟合是课程顺利开展的关键因素。
- 王奇王明娥冯春雷张莹莹张家良
